CdTeを用いた光集積回路素子作製のための微細加工に関する研究

西村, 正

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04292_Abstract pdf なし 155 KB 151 2014.05.22 要旨/Abstract  

論文情報

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タイトル
CdTeを用いた光集積回路素子作製のための微細加工に関する研究
著者
著者名
西村, 正 ; ニシムラ, タダシ
学位名
工学博士
学位授与年月日
1978-03-25
学位授与機関
大阪大学
研究科
基礎工学
専攻
物理系
学位授与番号
乙第02236号
学位記番号
04292
ハンドルURL
https://hdl.handle.net/11094/32056
アクセス権
open access
カテゴリ
博士論文 / 基礎工学研究科 / 1977年度
注記
著者からインターネット公開の許諾が得られていないため、論文の要旨のみを公開しています。全文のご利用をご希望の場合は、大阪大学の博士論文についてをご参照ください。
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