CdTeを用いた光集積回路素子作製のための微細加工に関する研究

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
04292_要旨	pdf	155 KB	74	要旨/Abstract

タイトル	CdTeを用いた光集積回路素子作製のための微細加工に関する研究
著者	西村, 正西村, 正
著者 (ヨミ)	ニシムラ, タダシ
著者所属研究科	基礎工学
専攻	物理系
学位名	工学博士
学位授与年月日	1978-03-25
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401乙第02236号
学位記番号	04292
URL	http://hdl.handle.net/11094/32056
カテゴリ	博士論文 / 基礎工学研究科 / 1977年度

著者版フラグ	none
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文
dcmi資源タイプ	text
DC.title	CdTeを用いた光集積回路素子作製のための微細加工に関する研究
DC.creator	西村, 正
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/32056
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	1978-03-25
citation_title	CdTeを用いた光集積回路素子作製のための微細加工に関する研究
citation_author	西村, 正
citation_public_url	http://hdl.handle.net/11094/32056
citation_date	1978-03-25