Microscopic theory of initial oxidation on Si (100) surfaces

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
09530_要旨	pdf	196 KB	41	要旨/Abstract
09530_論文	pdf	6.99 MB	33	論文/Dissertation

タイトル	Microscopic theory of initial oxidation on Si (100) surfaces
別タイトル	結晶表面の酸化初期過程
タイトル (ヨミ)	ケッショウヒョウメンノサンカショキカテイ
著者	宮本, 良之宮本, 良之
著者の別表記	Miyamoto, Yoshiyuki
著者 (ヨミ)	ミヤモト, ヨシユキ
学位名	工学博士
学位授与年月日	1991-02-26
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401乙第05302号
学位記番号	09530
URL	http://hdl.handle.net/11094/331
言語	英語
DOI	info:doi/10.11501/3054417

著者版フラグ	ETD
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
dcmi資源タイプ	text
DC.title	Microscopic theory of initial oxidation on Si (100) surfaces
DCTERMS.alternative	結晶表面の酸化初期過程
DC.creator	宮本, 良之
DC.creator	Miyamoto, Yoshiyuki
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	英語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/331
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	1991-02-26
DC.identifier	info:doi/10.11501/3054417
citation_title	Microscopic theory of initial oxidation on Si (100) surfaces
citation_author	宮本, 良之
citation_language	英語
citation_public_url	http://hdl.handle.net/11094/331
citation_date	1991-02-26
citation_doi	info:doi/10.11501/3054417