Microscopic theory of initial oxidation on Si (100) surfaces

宮本, 良之

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固定URL: https://doi.org/10.11501/3054417

ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
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09530_Dissertation	pdf	なし	6.99 MB	87	2012.09.22	論文/Dissertation

タイトル	Microscopic theory of initial oxidation on Si (100) surfaces
	結晶表面の酸化初期過程
	ケッショウヒョウメンノサンカショキカテイ
著者	NRID 1000070500784 1000070500784 著者名宮本, 良之 ; ミヤモト, ヨシユキ ; Miyamoto, Yoshiyuki
学位名	工学博士
学位授与年月日	1991-02-26
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	乙第05302号
学位記番号	09530
言語	英語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/331
DOI	https://doi.org/10.11501/3054417
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文本文あり / その他 / 1990年度
カテゴリ	博士論文 / その他 / 1990年度

資源タイプ	博士論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
DCMI資源タイプ	text
DCTERMS.bibliographicCitation	大阪大学, 1991, 博士論文
DC.title	Microscopic theory of initial oxidation on Si (100) surfaces
	結晶表面の酸化初期過程
	ケッショウヒョウメンノサンカショキカテイ
DC.creator	宮本, 良之
	ミヤモト, ヨシユキ
	Miyamoto, Yoshiyuki
DC.language' scheme='DCTERMS.RFC1766	英語
DC.type' scheme='DCTERMS.DCMIType	text
DCTERMS.issued' scheme='DCTERMS.W3CDTF	1991-02-26
DC.identifier	10.11501/3054417
DC.format	331
citation_title	Microscopic theory of initial oxidation on Si (100) surfaces
citation_author	宮本, 良之
citation_language	英語
citation_public_url	https://hdl.handle.net/11094/331
citation_date	1991-02-26
citation_doi_detail	10.11501/3054417
citation_doi	https://doi.org/10.11501/3054417