角度分解電子エネルギー損失分光法によるSi表面の水素化に関する研究

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
06051_要旨	pdf	137 KB	47	要旨/Abstract

タイトル	角度分解電子エネルギー損失分光法によるSi表面の水素化に関する研究
著者	丸野, 茂光丸野, 茂光
著者 (ヨミ)	マルノ, シゲミツ
著者所属研究科	工学
専攻	電子工学
学位名	工学博士
学位授与年月日	1983-03-25
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401甲第02961号
学位記番号	06051
URL	http://hdl.handle.net/11094/33381
カテゴリ	博士論文 / 工学研究科 / 1982年度

著者版フラグ	none
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文
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DC.title	角度分解電子エネルギー損失分光法によるSi表面の水素化に関する研究
DC.creator	丸野, 茂光
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DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	1983-03-25
citation_title	角度分解電子エネルギー損失分光法によるSi表面の水素化に関する研究
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