金属イオン照射による薄膜基板の表面制御

王, 暉

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固定URL: https://hdl.handle.net/11094/37003

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09158_Abstract pdf なし 215 KB 80 2014.06.05 要旨/Abstract  

論文情報

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タイトル
金属イオン照射による薄膜基板の表面制御
著者
著者名
王, 暉 ; オウ, キ
学位名
工学博士
学位授与年月日
1990-03-24
学位授与機関
大阪大学
研究科
工学
専攻
精密工学
学位授与番号
甲第04140号
学位記番号
09158
ハンドルURL
https://hdl.handle.net/11094/37003
アクセス権
open access
カテゴリ
博士論文 / 工学研究科 / 1989年度
注記
著者からインターネット公開の許諾が得られていないため、論文の要旨のみを公開しています。全文のご利用をご希望の場合は、大阪大学の博士論文についてをご参照ください。
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