微細加工用電界電離型ヘリウムイオン源と集束技術に関する研究

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
09440_要旨	pdf	165 KB	20	要旨/Abstract

タイトル	微細加工用電界電離型ヘリウムイオン源と集束技術に関する研究
著者	堀内, 敬堀内, 敬
著者 (ヨミ)	ホリウチ, ケイ
学位名	工学博士
学位授与年月日	1990-12-19
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401乙第05220号
学位記番号	09440
URL	http://hdl.handle.net/11094/37380

著者版フラグ	none
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文
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DC.title	微細加工用電界電離型ヘリウムイオン源と集束技術に関する研究
DC.creator	堀内, 敬
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/37380
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	1990-12-19
citation_title	微細加工用電界電離型ヘリウムイオン源と集束技術に関する研究
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citation_date	1990-12-19