レーザー誘起熱化学反応による微細加工装置の開発研究

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
09614_要旨	pdf	161 KB	64	要旨/Abstract

タイトル	レーザー誘起熱化学反応による微細加工装置の開発研究
著者	長友, 正平長友, 正平
著者 (ヨミ)	ナガトモ, ショウヘイ
学位名	工学博士
学位授与年月日	1991-03-14
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401乙第05383号
学位記番号	09614
URL	http://hdl.handle.net/11094/37397
カテゴリ	博士論文 / その他 / 1990年度

著者版フラグ	none
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文
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DC.title	レーザー誘起熱化学反応による微細加工装置の開発研究
DC.creator	長友, 正平
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DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	1991-03-14
citation_title	レーザー誘起熱化学反応による微細加工装置の開発研究
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citation_public_url	http://hdl.handle.net/11094/37397
citation_date	1991-03-14