イオンビームスパッタ法を用いた非晶質ベリリウム薄膜形成技術とその応用に関する研究

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
09901_要旨	pdf	137 KB	32	要旨/Abstract

タイトル	イオンビームスパッタ法を用いた非晶質ベリリウム薄膜形成技術とその応用に関する研究
著者	武井, 弘次武井, 弘次
著者 (ヨミ)	タケイ, ヒロツグ
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	1991-09-26
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401乙第05506号
学位記番号	09901
URL	http://hdl.handle.net/11094/37837

著者版フラグ	none
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文
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DC.title	イオンビームスパッタ法を用いた非晶質ベリリウム薄膜形成技術とその応用に関する研究
DC.creator	武井, 弘次
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/37837
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	1991-09-26
citation_title	イオンビームスパッタ法を用いた非晶質ベリリウム薄膜形成技術とその応用に関する研究
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citation_date	1991-09-26