イオンビームスパッタ法を用いた非晶質ベリリウム薄膜形成技術とその応用に関する研究

武井, 弘次

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09901_Abstract pdf なし 137 KB 129 2014.06.06 要旨/Abstract  

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タイトル
イオンビームスパッタ法を用いた非晶質ベリリウム薄膜形成技術とその応用に関する研究
著者
著者名
武井, 弘次 ; タケイ, ヒロツグ
学位名
博士（工学）
学位授与年月日
1991-09-26
学位授与機関
大阪大学
学位授与番号
乙第05506号
学位記番号
09901
ハンドルURL
https://hdl.handle.net/11094/37837
アクセス権
open access
カテゴリ
博士論文 / その他 / 1991年度
注記
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