表面定量分析の精度向上に関する研究 : 二次イオン質量分析法およびラザフォード後方散乱法を中心として

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10491_要旨	pdf	112 KB	84	要旨/Abstract

タイトル	表面定量分析の精度向上に関する研究 : 二次イオン質量分析法およびラザフォード後方散乱法を中心として
著者	草尾, 健司草尾, 健司
著者 (ヨミ)	クサオ, ケンジ
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	1992-12-28
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401乙第05865号
学位記番号	10491
URL	http://hdl.handle.net/11094/38279
カテゴリ	博士論文 / その他 / 1992年度

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NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文
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DC.title	表面定量分析の精度向上に関する研究 : 二次イオン質量分析法およびラザフォード後方散乱法を中心として
DC.creator	草尾, 健司
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citation_title	表面定量分析の精度向上に関する研究 : 二次イオン質量分析法およびラザフォード後方散乱法を中心として
citation_author	草尾, 健司
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citation_date	1992-12-28