表面定量分析の精度向上に関する研究 : 二次イオン質量分析法およびラザフォード後方散乱法を中心として

草尾, 健司

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10491_Abstract pdf なし 112 KB 174 2014.06.06 要旨/Abstract  

論文情報

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タイトル
表面定量分析の精度向上に関する研究 : 二次イオン質量分析法およびラザフォード後方散乱法を中心として
著者
著者名
草尾, 健司 ; クサオ, ケンジ
学位名
博士（工学）
学位授与年月日
1992-12-28
学位授与機関
大阪大学
学位授与番号
乙第05865号
学位記番号
10491
ハンドルURL
https://hdl.handle.net/11094/38279
アクセス権
open access
カテゴリ
博士論文 / その他 / 1992年度
注記
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