100mm級偏向電子線による大面積電子デバイスの直接露光技術の研究

星之内, 進

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10498_Abstract pdf なし 123 KB 108 2014.06.06 要旨/Abstract  

論文情報

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タイトル
100mm級偏向電子線による大面積電子デバイスの直接露光技術の研究
著者
著者名
星之内, 進 ; ホシノウチ, ススム
学位名
博士（工学）
学位授与年月日
1992-12-28
学位授与機関
大阪大学
学位授与番号
乙第05872号
学位記番号
10498
ハンドルURL
https://hdl.handle.net/11094/38429
アクセス権
open access
カテゴリ
博士論文 / その他 / 1992年度
注記
著者からインターネット公開の許諾が得られていないため、論文の要旨のみを公開しています。全文のご利用をご希望の場合は、大阪大学の博士論文についてをご参照ください。
Only the abstract of the doctoral thesis, instead of the full text, is available because consent from the author has not been obtained. If you would like to read the full text, please refer to Doctoral Theses of Osaka University.