Ⅲ-Ⅴ族化合物半導体のエピタキシャル成長素過程の研究

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
11034_要旨	pdf	139 KB	82	要旨/Abstract

タイトル	Ⅲ-Ⅴ族化合物半導体のエピタキシャル成長素過程の研究
著者	山口, 浩司山口, 浩司
著者 (ヨミ)	ヤマグチ, ヒロシ
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	1993-12-24
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401乙第06160号
学位記番号	11034
URL	http://hdl.handle.net/11094/38585
カテゴリ	博士論文 / その他 / 1993年度

著者版フラグ	none
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文
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DC.title	Ⅲ-Ⅴ族化合物半導体のエピタキシャル成長素過程の研究
DC.creator	山口, 浩司
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DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	1993-12-24
citation_title	Ⅲ-Ⅴ族化合物半導体のエピタキシャル成長素過程の研究
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