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2021-01-18
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11571_要旨
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105
要旨/Abstract
論文情報
タイトル
シリコン-熱酸化膜系の界面原子構造と電気的性質に関する研究
著者
丹羽, 正昭
丹羽, 正昭
著者 (ヨミ)
ニワ, マサアキ
学位名
博士(工学)
学位授与年月日
1994-10-05
学位授与機関
大阪大学
学位授与番号
14401乙第06442号
学位記番号
11571
URL
http://hdl.handle.net/11094/39193
カテゴリ
博士論文 / その他 / 1994年度
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著者版フラグ
none
NII資源タイプ
学位論文
ローカル資源タイプ
博士論文
dcmi資源タイプ
text
DC.title
シリコン-熱酸化膜系の界面原子構造と電気的性質に関する研究
DC.creator
丹羽, 正昭
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI
http://hdl.handle.net/11094/39193
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF
1994-10-05
citation_title
シリコン-熱酸化膜系の界面原子構造と電気的性質に関する研究
citation_author
丹羽, 正昭
citation_public_url
http://hdl.handle.net/11094/39193
citation_date
1994-10-05