原子間力顕微鏡によるナノメートル構造評価技術と超高密度記録技術の開発に関する研究

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
12663_要旨	pdf	149 KB	18	要旨/Abstract

タイトル	原子間力顕微鏡によるナノメートル構造評価技術と超高密度記録技術の開発に関する研究
著者	加道, 博行加道, 博行
著者 (ヨミ)	カドウ, ヒロユキ
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	1996-07-26
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401乙第06992号
学位記番号	12663
URL	http://hdl.handle.net/11094/40341

著者版フラグ	none
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文
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DC.title	原子間力顕微鏡によるナノメートル構造評価技術と超高密度記録技術の開発に関する研究
DC.creator	加道, 博行
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/40341
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	1996-07-26
citation_title	原子間力顕微鏡によるナノメートル構造評価技術と超高密度記録技術の開発に関する研究
citation_author	加道, 博行
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citation_date	1996-07-26