Development of a Meters-Scale Large Area Plasma Reactor Using Multiple Low-Inductance Antenna Modules for Giant Electronics Processing

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jwri36_02_095	pdf	404 KB	93

タイトル	Development of a Meters-Scale Large Area Plasma Reactor Using Multiple Low-Inductance Antenna Modules for Giant Electronics Processing
著者	SETSUHARA, Yuichi SETSUHARA, Yuichi
	ONO, Kouichi ONO, Kouichi
	EBE, Akinori EBE, Akinori
公開者	大阪大学接合科学研究所
公開者の別表記	Joining and Welding Research Institute, Osaka University
公開者 (ヨミ)	オオサカダイガクセツゴウカガクケンキュウジョ
掲載誌名	Transactions of JWRI
巻	36
号	2
開始ページ	95
終了ページ	97
刊行年月	2007-12
ISSN	03874508
NCID	AA00867058
URL	http://hdl.handle.net/11094/4138
言語	英語

著者版フラグ	publisher
NII資源タイプ	紀要論文
ローカル資源タイプ	紀要論文
dcmi資源タイプ	text
DCTERMS.bibliographicCitation	Transactions of JWRI.36(2) P.95-P.97
DC.title	Development of a Meters-Scale Large Area Plasma Reactor Using Multiple Low-Inductance Antenna Modules for Giant Electronics Processing
DC.creator	SETSUHARA, Yuichi
	ONO, Kouichi
	EBE, Akinori
DC.publisher	大阪大学接合科学研究所
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	英語
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	2007-12
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/4138
citation_title	Development of a Meters-Scale Large Area Plasma Reactor Using Multiple Low-Inductance Antenna Modules for Giant Electronics Processing
citation_author	SETSUHARA, Yuichi
	ONO, Kouichi
	EBE, Akinori
citation_publisher	大阪大学接合科学研究所
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citation_date	2007-12
citation_journal_title	Transactions of JWRI
citation_volume	36
citation_issue	2
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