Development of a Meters-Scale Large Area Plasma Reactor Using Multiple Low-Inductance Antenna Modules for Giant Electronics Processing

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jwri36_02_095	pdf	404 KB	80

タイトル	Development of a Meters-Scale Large Area Plasma Reactor Using Multiple Low-Inductance Antenna Modules for Giant Electronics Processing
著者	Setsuhara, Yuichi Setsuhara, Yuichi
	Ono, Kouichi Ono, Kouichi
	Ebe, Akinori Ebe, Akinori
キーワード等	Large-Area Plasma
	High-Density Plasma
	Plasma-Fluid Simulation
公開者	大阪大学接合科学研究所
公開者の別表記	Joining and Welding Research Institute, Osaka University
公開者 (ヨミ)	オオサカダイガクセツゴウカガクケンキュウジョ
掲載誌名	Transactions of JWRI
巻	36
号	2
開始ページ	95
終了ページ	97
刊行年月	2007-12
ISSN	03874508
NCID	AA00867058
URL	http://hdl.handle.net/11094/4138
言語	英語
カテゴリ	紀要論文 Departmental Bulletin Paper
カテゴリ	Transactions of JWRI / Vol.36 No.2 (2007-12)

著者版フラグ	publisher
NII資源タイプ	紀要論文
ローカル資源タイプ	紀要論文
dcmi資源タイプ	text
DCTERMS.bibliographicCitation	Transactions of JWRI.36(2) P.95-P.97
DC.title	Development of a Meters-Scale Large Area Plasma Reactor Using Multiple Low-Inductance Antenna Modules for Giant Electronics Processing
DC.creator	Setsuhara, Yuichi
	Ono, Kouichi
	Ebe, Akinori
DC.publisher	大阪大学接合科学研究所
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	英語
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	2007-12
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/4138
DC.subject	Large-Area Plasma
	High-Density Plasma
	Plasma-Fluid Simulation
citation_title	Development of a Meters-Scale Large Area Plasma Reactor Using Multiple Low-Inductance Antenna Modules for Giant Electronics Processing
citation_author	Setsuhara, Yuichi
	Ono, Kouichi
	Ebe, Akinori
citation_publisher	大阪大学接合科学研究所
citation_language	英語
citation_date	2007-12
citation_journal_title	Transactions of JWRI
citation_volume	36
citation_issue	2
citation_firstpage	95
citation_lastpage	97
citation_issn	03874508
citation_public_url	http://hdl.handle.net/11094/4138
citation_keywords	Large-Area Plasma
	High-Density Plasma
	Plasma-Fluid Simulation