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2022-06-27
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jwri36_02_095
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106
論文情報
タイトル
Development of a Meters-Scale Large Area Plasma Reactor Using Multiple Low-Inductance Antenna Modules for Giant Electronics Processing
著者
Setsuhara, Yuichi
Setsuhara, Yuichi
Ono, Kouichi
Ono, Kouichi
Ebe, Akinori
Ebe, Akinori
キーワード等
Large-Area Plasma
High-Density Plasma
Plasma-Fluid Simulation
公開者
大阪大学接合科学研究所
公開者の別表記
Joining and Welding Research Institute, Osaka University
公開者 (ヨミ)
オオサカ ダイガク セツゴウ カガク ケンキュウジョ
掲載誌名
Transactions of JWRI
巻
36
号
2
開始ページ
95
終了ページ
97
刊行年月
2007-12
ISSN
03874508
NCID
AA00867058
URL
http://hdl.handle.net/11094/4138
言語
英語
カテゴリ
紀要論文 Departmental Bulletin Paper
Transactions of JWRI / Vol.36 No.2 (2007-12)
論文詳細を表示
著者版フラグ
publisher
NII資源タイプ
紀要論文
ローカル資源タイプ
紀要論文
dcmi資源タイプ
text
DCTERMS.bibliographicCitation
Transactions of JWRI.36(2) P.95-P.97
DC.title
Development of a Meters-Scale Large Area Plasma Reactor Using Multiple Low-Inductance Antenna Modules for Giant Electronics Processing
DC.creator
Setsuhara, Yuichi
Ono, Kouichi
Ebe, Akinori
DC.publisher
大阪大学接合科学研究所
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766
英語
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF
2007-12
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI
http://hdl.handle.net/11094/4138
DC.subject
Large-Area Plasma
High-Density Plasma
Plasma-Fluid Simulation
citation_title
Development of a Meters-Scale Large Area Plasma Reactor Using Multiple Low-Inductance Antenna Modules for Giant Electronics Processing
citation_author
Setsuhara, Yuichi
Ono, Kouichi
Ebe, Akinori
citation_publisher
大阪大学接合科学研究所
citation_language
英語
citation_date
2007-12
citation_journal_title
Transactions of JWRI
citation_volume
36
citation_issue
2
citation_firstpage
95
citation_lastpage
97
citation_issn
03874508
citation_public_url
http://hdl.handle.net/11094/4138
citation_keywords
Large-Area Plasma
High-Density Plasma
Plasma-Fluid Simulation