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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
jwri36_02_095	pdf	なし	404 KB	146	2012.09.22

論文情報

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タイトル	Development of a Meters-Scale Large Area Plasma Reactor Using Multiple Low-Inductance Antenna Modules for Giant Electronics Processing
著者	NRID 1000080236108 1000080236108 researchmap permalink y_setsuhara y_setsuhara Scopus Author ID 7004203671 7004203671 著者名 Setsuhara, Yuichi
	NRID 1000030311731 1000030311731 著者名 Ono, Kouichi
	著者名 Ebe, Akinori
キーワード等	Large-Area Plasma
	High-Density Plasma
	Plasma-Fluid Simulation
出版者	大阪大学接合科学研究所
	オオサカ ダイガク セツゴウ カガク ケンキュウジョ
	Joining and Welding Research Institute, Osaka University
収録物名	Transactions of JWRI
巻(号)	36(2)
ページ	95-97
刊行年月	2007-12
言語	英語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/4138
DOI	https://doi.org/10.18910/4138
PISSN	03874508
NCID	AA00867058
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	紀要論文 Departmental Bulletin Paper
	Transactions of JWRI / Vol.36 No.2 (2007-12)

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