Low Temperature Growth Using Photo-Induced Process and Characterization of Dielectric Thin Films

毎田, 修

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17188_Abstract pdf なし 119 KB 85 2014.06.23 要旨/Abstract  

論文情報

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タイトル
Low Temperature Growth Using Photo-Induced Process and Characterization of Dielectric Thin Films
光励起プロセスによる誘電体薄膜の低温成長と評価に関する研究
著者
著者名
毎田, 修 ; マイダ, オサム
学位名
博士（工学）
学位授与年月日
2002-03-25
学位授与機関
大阪大学
研究科
工学
専攻
電気工学
学位授与番号
乙第08466号
学位記番号
17188
ハンドルURL
https://hdl.handle.net/11094/43455
アクセス権
open access
カテゴリ
博士論文 / 工学研究科 / 2001年度
注記
著者からインターネット公開の許諾が得られていないため、論文の要旨のみを公開しています。全文のご利用をご希望の場合は、大阪大学の博士論文についてをご参照ください。
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