極薄SiO2/Si界面準位の観測とその消滅法に関する研究

浅野, 明

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16758_Abstract pdf なし 121 KB 896 2014.06.23 要旨/Abstract  

論文情報

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タイトル
極薄SiO2/Si界面準位の観測とその消滅法に関する研究
著者
著者名
浅野, 明 ; アサノ, アキラ
学位名
博士（理学）
学位授与年月日
2002-03-25
学位授与機関
大阪大学
研究科
理学
専攻
化学
学位授与番号
甲第08307号
学位記番号
16758
ハンドルURL
https://hdl.handle.net/11094/43611
アクセス権
open access
カテゴリ
博士論文 / 理学研究科 / 2001年度
注記
著者からインターネット公開の許諾が得られていないため、論文の要旨のみを公開しています。全文のご利用をご希望の場合は、大阪大学の博士論文についてをご参照ください。
Only the abstract of the doctoral thesis, instead of the full text, is available because consent from the author has not been obtained. If you would like to read the full text, please refer to Doctoral Theses of Osaka University.