ミリ波およびECRプラズマによる誘電体薄膜合成に関する研究

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
18762_要旨	pdf	142 KB	20	要旨/Abstract

タイトル	ミリ波およびECRプラズマによる誘電体薄膜合成に関する研究
著者	松本, 武松本, 武
著者 (ヨミ)	マツモト, タケシ
著者所属研究科	工学
専攻	マテリアル応用工学
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2004-03-25
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401甲第09913号
学位記番号	18762
URL	http://hdl.handle.net/11094/45005
カテゴリ	博士論文 / 工学研究科 / 2003年度

著者版フラグ	none
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文
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DC.title	ミリ波およびECRプラズマによる誘電体薄膜合成に関する研究
DC.creator	松本, 武
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/45005
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	2004-03-25
citation_title	ミリ波およびECRプラズマによる誘電体薄膜合成に関する研究
citation_author	松本, 武
citation_public_url	http://hdl.handle.net/11094/45005
citation_date	2004-03-25