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2021-03-07
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jwri24_02_017
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98
論文情報
タイトル
Helicon Wave Plasma Enhanced Sputtering and Application to Synthesis of Carbon Nitride Films(Physics, Process, Instrument & Measurements)
著者
Zhang, Jinqiu
Zhang, Jinqiu
Seto, Naoki
Seto, Naoki
Kamai, Masayoshi
Kamai, Masayoshi
Setsuhara, Yuichi
Setsuhara, Yuichi
Miyake, Shoji
Miyake, Shoji
公開者
大阪大学溶接工学研究所
公開者の別表記
Welding Research Institute Osaka University
公開者 (ヨミ)
オオサカ ダイガク ヨウセツ コウガク ケンキュウジョ
掲載誌名
Transactions of JWRI
巻
24
号
2
開始ページ
17
終了ページ
22
刊行年月
1995-12
ISSN
03874508
NCID
AA00867058
URL
http://hdl.handle.net/11094/4744
関連情報 (isversionof)
http://ci.nii.ac.jp/naid/110006485920
権利情報
本文データはCiNiiから複製したものである
言語
英語
カテゴリ
紀要論文 Departmental Bulletin Paper
Transactions of JWRI / Vol.24 No.2 (1995-12)
論文詳細を表示
著者版フラグ
publisher
NII資源タイプ
紀要論文
ローカル資源タイプ
紀要論文
dcmi資源タイプ
text
DCTERMS.bibliographicCitation
Transactions of JWRI.24(2) P.17-P.22
DC.title
Helicon Wave Plasma Enhanced Sputtering and Application to Synthesis of Carbon Nitride Films(Physics, Process, Instrument & Measurements)
DC.creator
Zhang, Jinqiu
Seto, Naoki
Kamai, Masayoshi
Setsuhara, Yuichi
Miyake, Shoji
DC.publisher
大阪大学溶接工学研究所
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766
英語
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF
1995-12
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI
http://hdl.handle.net/11094/4744
DC.rights
本文データはCiNiiから複製したものである
citation_title
Helicon Wave Plasma Enhanced Sputtering and Application to Synthesis of Carbon Nitride Films(Physics, Process, Instrument & Measurements)
citation_author
Zhang, Jinqiu
Seto, Naoki
Kamai, Masayoshi
Setsuhara, Yuichi
Miyake, Shoji
citation_publisher
大阪大学溶接工学研究所
citation_language
英語
citation_date
1995-12
citation_journal_title
Transactions of JWRI
citation_volume
24
citation_issue
2
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citation_issn
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citation_public_url
http://hdl.handle.net/11094/4744