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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明
jwri24_02_017	pdf	なし	460 KB	120	2012.09.22

論文情報

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タイトル	Helicon Wave Plasma Enhanced Sputtering and Application to Synthesis of Carbon Nitride Films(Physics, Process, Instrument & Measurements)
著者	著者名 Zhang, Jinqiu
	NRID 1000090357327 1000090357327 著者名 Seto, Naoki
	researchmap permalink mkamai mkamai 著者名 Kamai, Masayoshi
	NRID 1000080236108 1000080236108 researchmap permalink y_setsuhara y_setsuhara Scopus Author ID 7004203671 7004203671 著者名 Setsuhara, Yuichi
	NRID 1000040029286 1000040029286 著者名 Miyake, Shoji
出版者	大阪大学溶接工学研究所
	オオサカ ダイガク ヨウセツ コウガク ケンキュウジョ
	Welding Research Institute Osaka University
収録物名	Transactions of JWRI
巻(号)	24(2)
ページ	17-22
刊行年月	1995-12
言語	英語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/4744
DOI	https://doi.org/10.18910/4744
PISSN	03874508
NCID	AA00867058
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	紀要論文 Departmental Bulletin Paper
	Transactions of JWRI / Vol.24 No.2 (1995-12)

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