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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明
ltc048-01	pdf	206 KB	582	2012.09.22

論文情報

タイトル	合金における選択スパッタリングについて
	ゴウキン ニ オケル センタク スパッタリング ニツイテ
著者	NRID 1000040029046 1000040029046 著者名 志水, 隆一 シミズ, リュウイチ
内容	研究ノート
出版者	大阪大学低温センター
	オオサカダイガク テイオンセンター
収録物名	大阪大学低温センターだより
巻	48
開始ページ	1
終了ページ	4
刊行年月	1984-07
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/4842
ISSN	03874419
NCID	AN00030246
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	紀要論文 Departmental Bulletin Paper
	大阪大学低温センターだより / No.48 (1984-10)

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