合金における選択スパッタリングについて

志水, 隆一

大阪大学低温センターだより, 1984, 48, 1-4

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固定URL: https://hdl.handle.net/11094/4842

ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
ltc048-01	pdf	なし	206 KB	751	2012.09.22

タイトル	合金における選択スパッタリングについて
タイトル	ゴウキンニオケルセンタクスパッタリングニツイテ
著者	NRID 1000040029046 1000040029046 著者名志水, 隆一 ; シミズ, リュウイチ
内容	研究ノート
出版者	大阪大学低温センター
出版者	オオサカダイガクテイオンセンター
収録物名	大阪大学低温センターだより
巻(号)	48
ページ	1-4
刊行年月	1984-07
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/4842
PISSN	03874419
NCID	AN00030246
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	紀要論文 Departmental Bulletin Paper
カテゴリ	大阪大学低温センターだより / No.48 (1984-10)

資源タイプ	紀要論文
ローカル資源タイプ	紀要論文
DCMI資源タイプ	text
DCTERMS.bibliographicCitation	大阪大学低温センターだより. 1984, 48, p. 1-4
DC.title	合金における選択スパッタリングについて
DC.title	ゴウキンニオケルセンタクスパッタリングニツイテ
DC.creator	志水, 隆一
DC.creator	シミズ, リュウイチ
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