合金における選択スパッタリングについて

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
ltc048-01	pdf	206 KB	491

著者版フラグ	publisher
NII資源タイプ	紀要論文
ローカル資源タイプ	紀要論文
dcmi資源タイプ	text
DCTERMS.bibliographicCitation	大阪大学低温センターだより.48 P.1-P.4
DC.title	合金における選択スパッタリングについて
DC.creator	志水, 隆一
DC.publisher	大阪大学低温センター
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	日本語
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	1984-07
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/4842
DC.description	研究ノート
citation_title	合金における選択スパッタリングについて
citation_author	志水, 隆一
citation_publisher	大阪大学低温センター
citation_language	日本語
citation_date	1984-07
citation_journal_title	大阪大学低温センターだより
citation_volume	48
citation_firstpage	1
citation_lastpage	4
citation_issn	03874419
citation_public_url	http://hdl.handle.net/11094/4842