触媒表面基準エッチングを用いた環境調和型平坦化加工に関する研究

八木, 圭太

アクセス数:103件（2025-05-16 07:38 集計）

固定URL: https://hdl.handle.net/11094/48621

ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
22001_Abstract	pdf	なし	606 KB	161	2014.08.19	要旨/Abstract

タイトル	触媒表面基準エッチングを用いた環境調和型平坦化加工に関する研究
著者	著者名八木, 圭太 ; ヤギ, ケイタ
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2008-03-25
学位授与機関	大阪大学
研究科	工学
専攻	精密科学
学位授与番号	甲第12604号
学位記番号	22001
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/48621
アクセス権	open access
カテゴリ	博士論文 / 工学研究科 / 2007年度
注記	著者からインターネット公開の許諾が得られていないため、論文の要旨のみを公開しています。全文のご利用をご希望の場合は、大阪大学の博士論文についてをご参照ください。
注記	Only the abstract of the doctoral thesis, instead of the full text, is available because consent from the author has not been obtained. If you would like to read the full text, please refer to Doctoral Theses of Osaka University.

資源タイプ	博士論文
ローカル資源タイプ	博士論文
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DCTERMS.bibliographicCitation	大阪大学, 2008, 博士論文
DC.title	触媒表面基準エッチングを用いた環境調和型平坦化加工に関する研究
DC.creator	八木, 圭太
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