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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
27692_Abstract	pdf	なし	156 KB	344	2015.08.03
27692_Dissertation	pdf	なし	1.85 MB	242	2015.08.03

論文情報

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タイトル	Study on Extreme Ultraviolet Sensitization Mechanism of Resist Polymers Having Onium Salt as Side Chain
	オニウム塩を側鎖に持つレジスト高分子の極端紫外光に対する感光機構に関する研究
	オニウムエン　ヲ　ソクサ　ニ　モツ　レジスト　コウブンシ　ノ　キョクタン　シガイコウ　ニ　タイスル　カンコウ　キコウ　ニ　カンスル　ケンキュウ
著者	著者名 小室, 嘉崇 ; コムロ, ヨシタカ
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2015-03-25
学位授与機関	大阪大学
研究科	工学
専攻	応用化学
学位授与番号	甲第17808号
学位記番号	27692
言語	英語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/52143
DOI	https://doi.org/10.18910/52143
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文 本文あり / 工学研究科 / 2014年度
	博士論文 / 工学研究科 / 2014年度

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