Study on Extreme Ultraviolet Sensitization Mechanism of Resist Polymers Having Onium Salt as Side Chain

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
27692_要旨	pdf	156 KB	73
27692_論文	pdf	1.85 MB	44

タイトル	Study on Extreme Ultraviolet Sensitization Mechanism of Resist Polymers Having Onium Salt as Side Chain
別タイトル	オニウム塩を側鎖に持つレジスト高分子の極端紫外光に対する感光機構に関する研究
タイトル (ヨミ)	オニウムエン　ヲ　ソクサ　ニ　モツ　レジスト　コウブンシ　ノ　キョクタン　シガイコウ　ニ　タイスル　カンコウ　キコウ　ニ　カンスル　ケンキュウ
著者	小室, 嘉崇小室, 嘉崇
著者 (ヨミ)	コムロ, ヨシタカ
著者所属研究科	工学
専攻	応用化学
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2015-03-25
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401甲第17808号
学位記番号	27692
URL	http://hdl.handle.net/11094/52143
言語	英語
DOI	info:doi/10.18910/52143

著者版フラグ	ETD
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
dcmi資源タイプ	text
DC.title	Study on Extreme Ultraviolet Sensitization Mechanism of Resist Polymers Having Onium Salt as Side Chain
DCTERMS.alternative	オニウム塩を側鎖に持つレジスト高分子の極端紫外光に対する感光機構に関する研究
DC.creator	小室, 嘉崇
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	英語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/52143
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	2015-03-25
DC.identifier	info:doi/10.18910/52143
citation_title	Study on Extreme Ultraviolet Sensitization Mechanism of Resist Polymers Having Onium Salt as Side Chain
citation_author	小室, 嘉崇
citation_language	英語
citation_public_url	http://hdl.handle.net/11094/52143
citation_date	2015-03-25
citation_doi	info:doi/10.18910/52143