OVPE法を用いたGaN結晶の長時間・高速成長化技術

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
27748_論文	pdf	5.88 MB	1,397	論文/Dissertation
27748_要旨	pdf	172 KB	211	要旨/Abstract

タイトル	OVPE法を用いたGaN結晶の長時間・高速成長化技術
タイトル (ヨミ)	OPVEホウ　ヲ　モチイタ　GaN　ケッショウ　ノ　チョウジカン　コウソク　セイチョウカ　ギジュツ
著者	隅, 智亮隅, 智亮
著者 (ヨミ)	スミ, トモアキ
著者所属研究科	工学
専攻	電気電子情報工学
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2015-03-25
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401甲第17864号
学位記番号	27748
URL	http://hdl.handle.net/11094/52185
言語	日本語
DOI	info:doi/10.18910/52185

著者版フラグ	ETD
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
dcmi資源タイプ	text
DC.title	OVPE法を用いたGaN結晶の長時間・高速成長化技術
DC.creator	隅, 智亮
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/52185
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	2015-03-25
DC.identifier	info:doi/10.18910/52185
citation_title	OVPE法を用いたGaN結晶の長時間・高速成長化技術
citation_author	隅, 智亮
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citation_public_url	http://hdl.handle.net/11094/52185
citation_date	2015-03-25
citation_doi	info:doi/10.18910/52185