Si Surface Passivation by Atmospheric-Pressure Plasma Oxidation

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
27207_要旨	pdf	213 KB	103
27207_論文	pdf	2.19 MB	72

タイトル	Si Surface Passivation by Atmospheric-Pressure Plasma Oxidation
別タイトル	大気圧プラズマ酸化によるシリコン表面パッシベーション
タイトル (ヨミ)	タイキアツ　プラズマ　サンカ　ニ　ヨル　シリコン　ヒョウメン　パッシベーション
著者	卓, 澤騰卓, 澤騰
著者の別表記	Zhuo, Zeteng
著者 (ヨミ)	タク, サワトウ
著者所属研究科	工学
専攻	精密科学・応用物理学
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2014-10-23
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401甲第17345号
学位記番号	27207
URL	http://hdl.handle.net/11094/52193
言語	英語
DOI	info:doi/10.18910/52193
カテゴリ	博士論文本文あり / 工学研究科 / 2014年度
カテゴリ	博士論文 / 工学研究科 / 2014年度

著者版フラグ	ETD
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
dcmi資源タイプ	text
DC.title	Si Surface Passivation by Atmospheric-Pressure Plasma Oxidation
DCTERMS.alternative	大気圧プラズマ酸化によるシリコン表面パッシベーション
DC.creator	卓, 澤騰
DC.creator	Zhuo, Zeteng
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	英語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/52193
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	2014-10-23
DC.identifier	info:doi/10.18910/52193
citation_title	Si Surface Passivation by Atmospheric-Pressure Plasma Oxidation
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citation_date	2014-10-23
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