ようこそ ゲスト さん
雑誌ブラウズ
雑誌 全て
大阪大学 刊行物
ランキング
アクセスランキング
ダウンロードランキング
博士論文のみをさがす
このアイテムのアクセス数:
48
件
(
2021-01-21
09:08 集計
)
このアイテムへのリンクには次のURLをご利用ください:
https://doi.org/10.18910/52193
このアイテムへのリンクには次のURLをご利用ください:http://hdl.handle.net/11094/52193
閲覧可能ファイル
ファイル
フォーマット
サイズ
閲覧回数
説明
27207_要旨
pdf
213 KB
103
27207_論文
pdf
2.19 MB
72
論文情報
タイトル
Si Surface Passivation by Atmospheric-Pressure Plasma Oxidation
別タイトル
大気圧プラズマ酸化によるシリコン表面パッシベーション
タイトル (ヨミ)
タイキアツ プラズマ サンカ ニ ヨル シリコン ヒョウメン パッシベーション
著者
卓, 澤騰
卓, 澤騰
著者の別表記
Zhuo, Zeteng
著者 (ヨミ)
タク, サワトウ
著者所属研究科
工学
専攻
精密科学・応用物理学
学位名
博士(工学)
学位授与年月日
2014-10-23
学位授与機関
大阪大学
学位授与番号
14401甲第17345号
学位記番号
27207
URL
http://hdl.handle.net/11094/52193
言語
英語
DOI
info:doi/10.18910/52193
カテゴリ
博士論文 本文あり / 工学研究科 / 2014年度
博士論文 / 工学研究科 / 2014年度
論文詳細を表示
著者版フラグ
ETD
NII資源タイプ
学位論文
ローカル資源タイプ
博士論文 本文あり
博士論文
dcmi資源タイプ
text
DC.title
Si Surface Passivation by Atmospheric-Pressure Plasma Oxidation
DCTERMS.alternative
大気圧プラズマ酸化によるシリコン表面パッシベーション
DC.creator
卓, 澤騰
DC.creator
Zhuo, Zeteng
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766
英語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI
http://hdl.handle.net/11094/52193
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF
2014-10-23
DC.identifier
info:doi/10.18910/52193
citation_title
Si Surface Passivation by Atmospheric-Pressure Plasma Oxidation
citation_author
卓, 澤騰
citation_language
英語
citation_public_url
http://hdl.handle.net/11094/52193
citation_date
2014-10-23
citation_doi
info:doi/10.18910/52193