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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
12190_Abstract	pdf	なし	126 KB	243	2014.08.04	要旨/Abstract
12190_Dissertation	pdf	なし	8.51 MB	117	2012.09.22	論文/Dissertation

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タイトル	Analysis of Microstructure and Growth Mechanism of Ion-Plated Cubic Boron Nitride Thin Film by Soft X-Ray Spectroscopy
	イオンプレーティング法で作製した立方晶窒化ホウ素薄膜の微細構造と成長機構に関する軟X線分光分析法による解析
	イオン プレーティングホウ デ サクセイ シタ リッポウショウ チッカ ホウソ ハクマク ノ ビサイ コウゾウ ト セイチョウ キコウ ニ カンスル ナンXセン ブンコウ ブンセキホウ ニヨル カイセキ
著者	著者名 上月, 秀徳 ; コウヅキ, ヒデノリ
学位名	博士（理学）
学位授与年月日	1995-12-21
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	乙第06792号
学位記番号	12190
言語	英語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/53
DOI	https://doi.org/10.11501/3108103
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文 本文あり / その他 / 1995年度
	博士論文 / その他 / 1995年度

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