表面分析における選択スパッタリングに関する基礎的研究-スパッタされた銅ニッケル合金表面のオージェ電子分光法による解析-

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
04935_要旨	pdf	137 KB	46	要旨/Abstract
04935_論文	pdf	6.29 MB	395	論文/Dissertation

タイトル	表面分析における選択スパッタリングに関する基礎的研究-スパッタされた銅ニッケル合金表面のオージェ電子分光法による解析-
別タイトル	Basic study on preferential sputtering in surface analysis : Analysis of sputtered Cu-Ni alloy surface by means of Auger electron spectroscopy
タイトル (ヨミ)	ヒョウメンブンセキニオケルセンタクスパッタリング二カンスルキソテキケンキュウスパッタサレタドウニッケルゴウキンヒョウメンノオージェデンシブンコウホウニヨルカイセキ
著者	佐伯, 登佐伯, 登
著者の別表記	Saeki, Noboru
著者 (ヨミ)	サエキ, ノボル
著者所属研究科	工学
専攻	応用物理学
学位名	工学博士
学位授与年月日	1980-03-25
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401甲第02520号
学位記番号	04935
URL	http://hdl.handle.net/11094/531
言語	日本語
カテゴリ	博士論文本文あり / 工学研究科 / 1979年度
カテゴリ	博士論文 / 工学研究科 / 1979年度

著者版フラグ	ETD
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
dcmi資源タイプ	text
DC.title	表面分析における選択スパッタリングに関する基礎的研究-スパッタされた銅ニッケル合金表面のオージェ電子分光法による解析-
DCTERMS.alternative	Basic study on preferential sputtering in surface analysis : Analysis of sputtered Cu-Ni alloy surface by means of Auger electron spectroscopy
DC.creator	佐伯, 登
DC.creator	Saeki, Noboru
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/531
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	1980-03-25
citation_title	表面分析における選択スパッタリングに関する基礎的研究-スパッタされた銅ニッケル合金表面のオージェ電子分光法による解析-
citation_author	佐伯, 登
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citation_public_url	http://hdl.handle.net/11094/531
citation_date	1980-03-25