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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明
04935_Abstract	pdf	なし	137 KB	67	2014.06.19	要旨/Abstract
04935_Dissertation	pdf	なし	6.29 MB	456	2012.09.22	論文/Dissertation

論文情報

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タイトル	表面分析における選択スパッタリングに関する基礎的研究-スパッタされた銅ニッケル合金表面のオージェ電子分光法による解析-
	Basic study on preferential sputtering in surface analysis : Analysis of sputtered Cu-Ni alloy surface by means of Auger electron spectroscopy
	ヒョウメン ブンセキ ニ オケル センタク スパッタリング 二カンスル キソテキ ケンキュウ スパッタ サレタ ドウニッケルゴウキン ヒョウメン ノ オージェ デンシ ブンコウホウ ニヨル カイセキ
著者	著者名 佐伯, 登 ; サエキ, ノボル ; Saeki, Noboru
学位名	工学博士
学位授与年月日	1980-03-25
学位授与機関	大阪大学
研究科	工学
専攻	応用物理学
学位授与番号	甲第02520号
学位記番号	04935
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/531
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文 本文あり / 工学研究科 / 1979年度
	博士論文 / 工学研究科 / 1979年度

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