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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
27884_Dissertation	pdf	なし	15.8 MB	1,598	2015.10.20
27884_Abstract	pdf	なし	257 KB	245	2015.10.20

論文情報

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タイトル	低ダメージ半導体微細加工のためのプラズマ表面相互作用分子動力学シミュレーション解析
	テイダメージ　ハンドウタイ　ビサイ　カコウ　ノ　タメ　ノ　プラズマ　ヒョウメン　ソウゴ　サヨウ　ブンシ　ドウリキガク　シミュレーション　カイセキ
著者	著者名 溝谷, 浩平 ; ミゾタニ, コウヘイ
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2015-09-25
学位授与機関	大阪大学
研究科	工学
専攻	マテリアル生産科学
学位授与番号	甲第17985号
学位記番号	27884
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/53966
DOI	https://doi.org/10.18910/53966
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文 本文あり / 工学研究科 / 2015年度
	博士論文 / 工学研究科 / 2015年度

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