低ダメージ半導体微細加工のためのプラズマ表面相互作用分子動力学シミュレーション解析

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固定URL: https://doi.org/10.18910/53966

ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
27884_Dissertation	pdf	なし	15.8 MB	1,431	2015.10.20
27884_Abstract	pdf	なし	257 KB	172	2015.10.20

タイトル	低ダメージ半導体微細加工のためのプラズマ表面相互作用分子動力学シミュレーション解析
タイトル	テイダメージ　ハンドウタイ　ビサイ　カコウ　ノ　タメ　ノ　プラズマ　ヒョウメン　ソウゴ　サヨウ　ブンシ　ドウリキガク　シミュレーション　カイセキ
著者	著者名溝谷, 浩平 ; ミゾタニ, コウヘイ
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2015-09-25
学位授与機関	大阪大学
研究科	工学
専攻	マテリアル生産科学
学位授与番号	甲第17985号
学位記番号	27884
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/53966
DOI	https://doi.org/10.18910/53966
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文本文あり / 工学研究科 / 2015年度
カテゴリ	博士論文 / 工学研究科 / 2015年度

資源タイプ	博士論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
DCMI資源タイプ	text
DCTERMS.bibliographicCitation	大阪大学, 2015, 博士論文
DC.title	低ダメージ半導体微細加工のためのプラズマ表面相互作用分子動力学シミュレーション解析
DC.title	テイダメージ　ハンドウタイ　ビサイ　カコウ　ノ　タメ　ノ　プラズマ　ヒョウメン　ソウゴ　サヨウ　ブンシ　ドウリキガク　シミュレーション　カイセキ
DC.creator	溝谷, 浩平
DC.creator	ミゾタニ, コウヘイ
DC.language' scheme='DCTERMS.RFC1766	日本語
DC.type' scheme='DCTERMS.DCMIType	text
DCTERMS.issued' scheme='DCTERMS.W3CDTF	2015-09-25
DC.identifier	10.18910/53966
DC.format	application/pdf
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citation_author	溝谷, 浩平
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citation_public_url	https://hdl.handle.net/11094/53966
citation_date	2015-09-25
citation_doi_detail	10.18910/53966
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