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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
28022_Dissertation	pdf	なし	8.00 MB	1,348	2016.04.26
28022_Abstract	pdf	なし	230 KB	222	2016.04.26

論文情報

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タイトル	強誘電体周期分極反転構造を用いた高速レーザリソグラフィ装置用空間光変調器に関する研究
	キョウユウデンタイシュウキブンキョクハンテンコウゾウヲモチイタコウソクレーザリソグラフィソウチヨウクウカンヒカリヘンチョウキニカンスルケンキュウ
著者	著者名 岡﨑, 雅英 ; オカザキ, マサヒデ
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2016-03-28
学位授与機関	大阪大学
研究科	工学
学位授与番号	乙第09903号
学位記番号	28022
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/55944
DOI	https://doi.org/10.18910/55944
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文 本文あり / 工学研究科 / 2015年度
	博士論文 / 工学研究科 / 2015年度

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