超高真空下における常温凝着接合過程に関する研究

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
14895_要旨	pdf	144 KB	39	要旨/Abstract
14895_論文	pdf	4.15 MB	190	論文/Dissertation

タイトル	超高真空下における常温凝着接合過程に関する研究
タイトル (ヨミ)	チョウコウシンクウカニオケルジョウオンギョウチャクセツゴウカテイニカンスルケンキュウ
著者	松坂, 壮太松坂, 壮太
著者の別表記	Matusaka, Souta
著者 (ヨミ)	マツサカ, ソウタ
著者所属研究科	工学
専攻	生産加工工学
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	1999-07-26
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401甲第07074号
学位記番号	14895
URL	http://hdl.handle.net/11094/560
言語	日本語
DOI	info:doi/10.11501/3161837

著者版フラグ	ETD
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
dcmi資源タイプ	text
DC.title	超高真空下における常温凝着接合過程に関する研究
DC.creator	松坂, 壮太
DC.creator	Matusaka, Souta
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	日本語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/560
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	1999-07-26
DC.identifier	info:doi/10.11501/3161837
citation_title	超高真空下における常温凝着接合過程に関する研究
citation_author	松坂, 壮太
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citation_public_url	http://hdl.handle.net/11094/560
citation_date	1999-07-26
citation_doi	info:doi/10.11501/3161837