超高真空下における常温凝着接合過程に関する研究

松坂, 壮太

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固定URL: https://doi.org/10.11501/3161837

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タイトル	超高真空下における常温凝着接合過程に関する研究
タイトル	チョウコウシンクウカニオケルジョウオンギョウチャクセツゴウカテイニカンスルケンキュウ
著者	NRID 1000030334171 1000030334171 著者名松坂, 壮太 ; マツサカ, ソウタ ; Matusaka, Souta
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	1999-07-26
学位授与機関	大阪大学
研究科	工学
専攻	生産加工工学
学位授与番号	甲第07074号
学位記番号	14895
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/560
DOI	https://doi.org/10.11501/3161837
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文本文あり / 工学研究科 / 1999年度
カテゴリ	博士論文 / 工学研究科 / 1999年度

資源タイプ	博士論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
DCMI資源タイプ	text
DCTERMS.bibliographicCitation	大阪大学, 1999, 博士論文
DC.title	超高真空下における常温凝着接合過程に関する研究
DC.title	チョウコウシンクウカニオケルジョウオンギョウチャクセツゴウカテイニカンスルケンキュウ
DC.creator	松坂, 壮太
	マツサカ, ソウタ
	Matusaka, Souta
DC.language' scheme='DCTERMS.RFC1766	日本語
DC.type' scheme='DCTERMS.DCMIType	text
DCTERMS.issued' scheme='DCTERMS.W3CDTF	1999-07-26
DC.identifier	10.11501/3161837
DC.format	560
citation_title	超高真空下における常温凝着接合過程に関する研究
citation_author	松坂, 壮太
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citation_date	1999-07-26
citation_doi_detail	10.11501/3161837
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