イオンビームのULSIへの応用に関する研究

黒井, 隆

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固定URL: https://doi.org/10.11501/3155409

ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
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14656_Abstract	pdf	なし	127 KB	209	2014.06.09	要旨/Abstract

タイトル	イオンビームのULSIへの応用に関する研究
タイトル	イオンビームノ ULSI ヘノオウヨウニカンスルケンキュウ
著者	著者名黒井, 隆 ; クロイ, タカシ
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	1999-03-25
学位授与機関	大阪大学
研究科	工学
専攻	電子工学
学位授与番号	甲第06925号
学位記番号	14656
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/569
DOI	https://doi.org/10.11501/3155409
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文本文あり / 工学研究科 / 1998年度
カテゴリ	博士論文 / 工学研究科 / 1998年度

資源タイプ	博士論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
DCMI資源タイプ	text
DCTERMS.bibliographicCitation	大阪大学, 1999, 博士論文
DC.title	イオンビームのULSIへの応用に関する研究
DC.title	イオンビームノ ULSI ヘノオウヨウニカンスルケンキュウ
DC.creator	黒井, 隆
DC.creator	クロイ, タカシ
DC.language' scheme='DCTERMS.RFC1766	日本語
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DCTERMS.issued' scheme='DCTERMS.W3CDTF	1999-03-25
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citation_title	イオンビームのULSIへの応用に関する研究
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citation_date	1999-03-25
citation_doi_detail	10.11501/3155409
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