先端増強ラマン分光顕微鏡による半導体結晶の局所歪み評価

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23796_要旨	pdf	225 KB	23	要旨/Abstract

タイトル	先端増強ラマン分光顕微鏡による半導体結晶の局所歪み評価
著者	本橋, 正史本橋, 正史
著者 (ヨミ)	モトハシ, マサシ
著者所属研究科	工学
専攻	精密科学・応用物理学
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2010-03-23
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401甲第14215号
学位記番号	23796
URL	http://hdl.handle.net/11094/57533
カテゴリ	博士論文 / 工学研究科 / 2009年度

著者版フラグ	none
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文
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DC.title	先端増強ラマン分光顕微鏡による半導体結晶の局所歪み評価
DC.creator	本橋, 正史
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DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	2010-03-23
citation_title	先端増強ラマン分光顕微鏡による半導体結晶の局所歪み評価
citation_author	本橋, 正史
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citation_date	2010-03-23