Comparative Study of Mg-Si Films Deposited by DC- and RF- Glow Discharge Sputtering

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
jwri36_02_039	pdf	478 KB	135

タイトル	Comparative Study of Mg-Si Films Deposited by DC- and RF- Glow Discharge Sputtering
著者	Serikawa, Tadashi Serikawa, Tadashi
	Kawabata, Kenshi Kawabata, Kenshi
	Kondoh, Katsuyoshi Kondoh, Katsuyoshi
公開者	大阪大学接合科学研究所
公開者の別表記	Joining and Welding Research Institute, Osaka University
公開者 (ヨミ)	オオサカダイガクセツゴウカガクケンキュウジョ
掲載誌名	Transactions of JWRI
巻	36
号	2
開始ページ	39
終了ページ	43
刊行年月	2007-12
ISSN	03874508
NCID	AA00867058
URL	http://hdl.handle.net/11094/5801
言語	英語

著者版フラグ	publisher
NII資源タイプ	紀要論文
ローカル資源タイプ	紀要論文
dcmi資源タイプ	text
DCTERMS.bibliographicCitation	Transactions of JWRI.36(2) P.39-P.43
DC.title	Comparative Study of Mg-Si Films Deposited by DC- and RF- Glow Discharge Sputtering
DC.creator	Serikawa, Tadashi
	Kawabata, Kenshi
	Kondoh, Katsuyoshi
DC.publisher	大阪大学接合科学研究所
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	英語
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	2007-12
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/5801
citation_title	Comparative Study of Mg-Si Films Deposited by DC- and RF- Glow Discharge Sputtering
citation_author	Serikawa, Tadashi
	Kawabata, Kenshi
	Kondoh, Katsuyoshi
citation_publisher	大阪大学接合科学研究所
citation_language	英語
citation_date	2007-12
citation_journal_title	Transactions of JWRI
citation_volume	36
citation_issue	2
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citation_public_url	http://hdl.handle.net/11094/5801