波面補償システムを導入したKirkpatrick-Baezミラー光学系によるSub-10nm分解能硬X線顕微鏡の開発

木村, 隆志

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24549_Abstract pdf なし 631 KB 64 2016.12.07 要旨/Abstract  

論文情報

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タイトル
波面補償システムを導入したKirkpatrick-Baezミラー光学系によるSub-10nm分解能硬X線顕微鏡の開発
著者
NRID
1000050531472 1000050531472
著者名
木村, 隆志 ; キムラ, タカシ
学位名
博士（工学）
学位授与年月日
2011-03-25
学位授与機関
大阪大学
研究科
工学
専攻
精密科学・応用物理学
学位授与番号
甲第14888号
学位記番号
24549
ハンドルURL
https://hdl.handle.net/11094/58330
アクセス権
open access
カテゴリ
博士論文 / 工学研究科 / 2010年度
注記
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