Electrochemical Micromachining of Silicon-Based Materials Using Fine Needle Electrodes

杉田, 智彦

アクセス数:353件（2025-07-06 15:40 集計）

固定URL: https://hdl.handle.net/11094/59849

ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
26091_Abstract	pdf	なし	1.12 MB	94	2017.02.07	要旨/Abstract

タイトル	Electrochemical Micromachining of Silicon-Based Materials Using Fine Needle Electrodes
タイトル	微細電極を用いたシリコン系材料の電気化学的微細加工
著者	著者名杉田, 智彦 ; スギタ, トモヒコ
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2013-03-25
学位授与機関	大阪大学
研究科	基礎工学
専攻	物質創成
学位授与番号	甲第16305号
学位記番号	26091
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/59849
アクセス権	open access
カテゴリ	博士論文 / 基礎工学研究科 / 2012年度
注記	著者からインターネット公開の許諾が得られていないため、論文の要旨のみを公開しています。全文のご利用をご希望の場合は、大阪大学の博士論文についてをご参照ください。
注記	Only the abstract of the doctoral thesis, instead of the full text, is available because consent from the author has not been obtained. If you would like to read the full text, please refer to Doctoral Theses of Osaka University.

資源タイプ	博士論文
ローカル資源タイプ	博士論文
DCMI資源タイプ	text
DCTERMS.bibliographicCitation	大阪大学, 2013, 博士論文
DC.title	Electrochemical Micromachining of Silicon-Based Materials Using Fine Needle Electrodes
DC.title	微細電極を用いたシリコン系材料の電気化学的微細加工
DC.creator	杉田, 智彦
DC.creator	スギタ, トモヒコ
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DCTERMS.issued' scheme='DCTERMS.W3CDTF	2013-03-25
DC.format	59849
citation_title	Electrochemical Micromachining of Silicon-Based Materials Using Fine Needle Electrodes
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citation_date	2013-03-25