Electrochemical Micromachining of Silicon-Based Materials Using Fine Needle Electrodes

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
26091_要旨	pdf	1.12 MB	7	要旨/Abstract

タイトル	Electrochemical Micromachining of Silicon-Based Materials Using Fine Needle Electrodes
別タイトル	微細電極を用いたシリコン系材料の電気化学的微細加工
著者	杉田, 智彦杉田, 智彦
著者 (ヨミ)	スギタ, トモヒコ
著者所属研究科	基礎工学
専攻	物質創成
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2013-03-25
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401甲第16305号
学位記番号	26091
URL	http://hdl.handle.net/11094/59849

著者版フラグ	none
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文
dcmi資源タイプ	text
DC.title	Electrochemical Micromachining of Silicon-Based Materials Using Fine Needle Electrodes
DCTERMS.alternative	微細電極を用いたシリコン系材料の電気化学的微細加工
DC.creator	杉田, 智彦
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/59849
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	2013-03-25
citation_title	Electrochemical Micromachining of Silicon-Based Materials Using Fine Needle Electrodes
citation_author	杉田, 智彦
citation_public_url	http://hdl.handle.net/11094/59849
citation_date	2013-03-25