大気圧プラズマ化学輸送法による太陽電池用シリコン膜の作製

大参, 宏昌

大阪大学低温センターだより, 2010, 152, 20-26

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固定URL: https://hdl.handle.net/11094/6115

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ltc152_20	pdf	なし	268 KB	350	2012.09.22

タイトル	大気圧プラズマ化学輸送法による太陽電池用シリコン膜の作製
タイトル	タイキアツプラズマカガクユソウホウニヨルタイヨウデンチヨウシリコンマクノサクセイ
著者	NRID 1000000335382 1000000335382 researchmap permalink read0076337 read0076337 Scopus Author ID 6701717242 6701717242 著者名大参, 宏昌 ; オオミ, ヒロマサ
内容	GCOE特集
内容	大阪大学GCOEプログラム「高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点」拠点リーダー:山内和人(工学研究科)
出版者	大阪大学低温センター
出版者	オオサカダイガクテイオンセンター
収録物名	大阪大学低温センターだより
巻(号)	152
ページ	20-26
刊行年月	2010-10
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/6115
PISSN	03874419
NCID	AN00030246
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	紀要論文 Departmental Bulletin Paper
カテゴリ	大阪大学低温センターだより / No.152 (2010-10)

資源タイプ	紀要論文
ローカル資源タイプ	紀要論文
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DCTERMS.bibliographicCitation	大阪大学低温センターだより. 2010, 152, p. 20-26
DC.title	大気圧プラズマ化学輸送法による太陽電池用シリコン膜の作製
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DC.creator	大参, 宏昌
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