大気圧プラズマ化学輸送法による太陽電池用シリコン膜の作製

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タイトル	大気圧プラズマ化学輸送法による太陽電池用シリコン膜の作製
タイトル (ヨミ)	タイキアツプラズマカガクユソウホウニヨルタイヨウデンチヨウシリコンマクノサクセイ
著者	大参, 宏昌大参, 宏昌
著者 (ヨミ)	オオミ, ヒロマサ
内容	GCOE特集
内容	大阪大学GCOEプログラム「高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点」拠点リーダー:山内和人(工学研究科)
公開者	大阪大学低温センター
公開者 (ヨミ)	オオサカダイガクテイオンセンター
掲載誌名	大阪大学低温センターだより
巻	152
開始ページ	20
終了ページ	26
刊行年月	2010-10
ISSN	03874419
NCID	AN00030246
URL	http://hdl.handle.net/11094/6115
言語	日本語

著者版フラグ	publisher
NII資源タイプ	紀要論文
ローカル資源タイプ	紀要論文
dcmi資源タイプ	text
DCTERMS.bibliographicCitation	大阪大学低温センターだより.152 P.20-P.26
DC.title	大気圧プラズマ化学輸送法による太陽電池用シリコン膜の作製
DC.creator	大参, 宏昌
DC.publisher	大阪大学低温センター
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	日本語
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	2010-10
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/6115
DC.description	GCOE特集
DC.description	大阪大学GCOEプログラム「高機能化原子制御製造プロセス教育研究拠点」拠点リーダー:山内和人(工学研究科)
citation_title	大気圧プラズマ化学輸送法による太陽電池用シリコン膜の作製
citation_author	大参, 宏昌
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citation_date	2010-10
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citation_volume	152
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