Optimization of (Al, Ti) N Thin Film Formation Process by Ion Beam Assisted Deposition(Physics, Processes, Instruments & Measurements)

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jwri29_02_011	pdf	619 KB	40

タイトル	Optimization of (Al, Ti) N Thin Film Formation Process by Ion Beam Assisted Deposition(Physics, Processes, Instruments & Measurements)
著者	Takahashi, Makoto Takahashi, Makoto
	Li, Shuguang Li, Shuguang
	Imakita, Tomoyuki Imakita, Tomoyuki
	Imatani, Akihiro Imatani, Akihiro
	Inoue, Katsunori Inoue, Katsunori
公開者	大阪大学接合科学研究所
公開者の別表記	Joining and Welding Research Institute, Osaka University
公開者 (ヨミ)	オオサカダイガクセツゴウカガクケンキュウジョ
掲載誌名	Transactions of JWRI
巻	29
号	2
開始ページ	11
終了ページ	15
刊行年月	2000-12
ISSN	03874508
NCID	AA00867058
URL	http://hdl.handle.net/11094/6929
関連情報 (isversionof)	http://ci.nii.ac.jp/naid/110006486080
権利情報	本文データはCiNiiから複製したものである
言語	英語

著者版フラグ	publisher
NII資源タイプ	紀要論文
ローカル資源タイプ	紀要論文
dcmi資源タイプ	text
DCTERMS.bibliographicCitation	Transactions of JWRI.29(2) P.11-P.15
DC.title	Optimization of (Al, Ti) N Thin Film Formation Process by Ion Beam Assisted Deposition(Physics, Processes, Instruments & Measurements)
DC.creator	Takahashi, Makoto
	Li, Shuguang
	Imakita, Tomoyuki
	Imatani, Akihiro
	Inoue, Katsunori
DC.publisher	大阪大学接合科学研究所
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	英語
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	2000-12
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/6929
DC.rights	本文データはCiNiiから複製したものである
citation_title	Optimization of (Al, Ti) N Thin Film Formation Process by Ion Beam Assisted Deposition(Physics, Processes, Instruments & Measurements)
citation_author	Takahashi, Makoto
	Li, Shuguang
	Imakita, Tomoyuki
	Imatani, Akihiro
	Inoue, Katsunori
citation_publisher	大阪大学接合科学研究所
citation_language	英語
citation_date	2000-12
citation_journal_title	Transactions of JWRI
citation_volume	29
citation_issue	2
citation_firstpage	11
citation_lastpage	15
citation_issn	03874508
citation_public_url	http://hdl.handle.net/11094/6929