Optimization of (Al, Ti) N Thin Film Formation Process by Ion Beam Assisted Deposition(Physics, Processes, Instruments & Measurements)

Takahashi, Makoto; Li, Shuguang; Imakita, Tomoyuki et al.

Transactions of JWRI, 2000, 29(2), 11-15

アクセス数:3502025-06-22 11:17 集計

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jwri29_02_011 pdf なし 619 KB 90 2012.09.22  

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