MRAM用高集積パターン磁性膜プラズマエッチング機構の解明

佐竹, 真

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29770_Abstract pdf なし 332 KB 277 2018.05.30  

論文情報

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タイトル
MRAM用高集積パターン磁性膜プラズマエッチング機構の解明
MRAMヨウコウシュウセキパターンジセイマクエッチングキコウノカイメイ
著者
著者名
佐竹, 真 ; サタケ, マコト
学位名
博士（工学）
学位授与年月日
2018-03-22
学位授与機関
大阪大学
研究科
工学
専攻
マテリアル生産化学
学位授与番号
甲第19629号
学位記番号
29770
言語
日本語
ハンドルURL
https://hdl.handle.net/11094/69579
アクセス権
open access
カテゴリ
博士論文 / 工学研究科 / 2017年度
注記
やむを得ない事由があると学位審査研究科が承認したため、全文に代えてその内容の要約を公開しています。全文のご利用をご希望の場合は、大阪大学の博士論文についてをご参照ください。
Only the abstract of the doctoral thesis, instead of the full text, is available due to an unavoidable reason which was accepted by the degree-awarding graduate school. If you would like to read the full text, please refer to Doctoral Theses of Osaka University.