電子励起脱離(ESD)法による表面水素の振舞い

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
ltc085-05	pdf	191 KB	133

タイトル	電子励起脱離(ESD)法による表面水素の振舞い
タイトル (ヨミ)	デンシレイキダツリ ESD ホウニヨルヒョウメンスイソノフルマイ
著者	上田, 一之上田, 一之
著者 (ヨミ)	ウエダ, カズユキ
内容	研究ノート
公開者	大阪大学低温センター
公開者 (ヨミ)	オオサカダイガクテイオンセンター
掲載誌名	大阪大学低温センターだより
巻	85
開始ページ	5
終了ページ	8
刊行年月	1994-01
ISSN	03874419
NCID	AN00030246
URL	http://hdl.handle.net/11094/7171
言語	日本語

著者版フラグ	publisher
NII資源タイプ	紀要論文
ローカル資源タイプ	紀要論文
dcmi資源タイプ	text
DCTERMS.bibliographicCitation	大阪大学低温センターだより.85 P.5-P.8
DC.title	電子励起脱離(ESD)法による表面水素の振舞い
DC.creator	上田, 一之
DC.publisher	大阪大学低温センター
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	日本語
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	1994-01
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/7171
DC.description	研究ノート
citation_title	電子励起脱離(ESD)法による表面水素の振舞い
citation_author	上田, 一之
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citation_date	1994-01
citation_journal_title	大阪大学低温センターだより
citation_volume	85
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