固定URL: https://doi.org/10.18910/73444

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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
30682_Abstract	pdf	なし	88.2 KB	1,462	2019.10.30
30682_Dissertation	pdf	なし	2.73 MB	511	2019.10.30

論文情報

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タイトル	Studies on metal-containing chemically amplified resist utilizing polarity change and crosslinking for extreme ultraviolet lithography
	極端紫外光リソグラフィに用いる極性変換と架橋を利用した金属含有化学増幅型レジストに関する研究
	キョクタンシガイコウリソグラフィニモチイラレルキョクセイヘンカントカキョウヲリヨウシタキンゾクガンユウカガクゾウフクガタレジストニカンスルケンキュウ
著者	著者名 榎本, 智至 ; エノモト, サトシ
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2019-04-19
学位授与機関	大阪大学
研究科	工学
専攻	応用化学
学位授与番号	甲第20395号
学位記番号	30682
言語	英語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/73444
DOI	https://doi.org/10.18910/73444
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文 本文あり / 工学研究科 / 2019年度
	博士論文 / 工学研究科 / 2019年度

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