Studies on metal-containing chemically amplified resist utilizing polarity change and crosslinking for extreme ultraviolet lithography

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
30682_Abstract	pdf	88.2 KB	195
30682_Dissertation	pdf	2.73 MB	79

タイトル	Studies on metal-containing chemically amplified resist utilizing polarity change and crosslinking for extreme ultraviolet lithography
別タイトル	極端紫外光リソグラフィに用いる極性変換と架橋を利用した金属含有化学増幅型レジストに関する研究
タイトル (ヨミ)	キョクタンシガイコウリソグラフィニモチイラレルキョクセイヘンカントカキョウヲリヨウシタキンゾクガンユウカガクゾウフクガタレジストニカンスルケンキュウ
著者	榎本, 智至榎本, 智至
著者 (ヨミ)	エノモト, サトシ
著者所属研究科	工学
専攻	応用化学
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2019-04-19
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401甲第20395号
学位記番号	30682
URL	http://hdl.handle.net/11094/73444
言語	英語
DOI	info:doi/10.18910/73444
カテゴリ	博士論文本文あり / 工学研究科 / 2019年度
カテゴリ	博士論文 / 工学研究科 / 2019年度

著者版フラグ	ETD
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
dcmi資源タイプ	text
DC.title	Studies on metal-containing chemically amplified resist utilizing polarity change and crosslinking for extreme ultraviolet lithography
DCTERMS.alternative	極端紫外光リソグラフィに用いる極性変換と架橋を利用した金属含有化学増幅型レジストに関する研究
DC.creator	榎本, 智至
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	英語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/73444
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	2019-04-19
DC.identifier	info:doi/10.18910/73444
citation_title	Studies on metal-containing chemically amplified resist utilizing polarity change and crosslinking for extreme ultraviolet lithography
citation_author	榎本, 智至
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citation_public_url	http://hdl.handle.net/11094/73444
citation_date	2019-04-19
citation_doi	info:doi/10.18910/73444