Fundamental research on micro discharge process : Research on discharge of sub-millimeter size process

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
jwri39_02_207	pdf	291 KB	83

タイトル	Fundamental research on micro discharge process : Research on discharge of sub-millimeter size process
著者	Mingon, Park Mingon, Park
	Hirata, Yoshinori Hirata, Yoshinori
	Nomura, Kazufumi Nomura, Kazufumi
公開者	大阪大学接合科学研究所
公開者の別表記	Joining and Welding Research Institute, Osaka University
公開者 (ヨミ)	オオサカダイガクセツゴウカガクケンキュウジョ
掲載誌名	Transactions of JWRI
巻	39
号	2
開始ページ	207
終了ページ	208
刊行年月	2010-12
ISSN	03874508
NCID	AA00867058
URL	http://hdl.handle.net/11094/7438
言語	英語

著者版フラグ	publisher
NII資源タイプ	紀要論文
ローカル資源タイプ	紀要論文
dcmi資源タイプ	text
DCTERMS.bibliographicCitation	Transactions of JWRI.39(2) P.207-P.208
DC.title	Fundamental research on micro discharge process : Research on discharge of sub-millimeter size process
DC.creator	Mingon, Park
	Hirata, Yoshinori
	Nomura, Kazufumi
DC.publisher	大阪大学接合科学研究所
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	英語
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	2010-12
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/7438
citation_title	Fundamental research on micro discharge process : Research on discharge of sub-millimeter size process
citation_author	Mingon, Park
	Hirata, Yoshinori
	Nomura, Kazufumi
citation_publisher	大阪大学接合科学研究所
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citation_date	2010-12
citation_journal_title	Transactions of JWRI
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citation_issue	2
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