TDIR技術を用いた熱型赤外線センサモジュール「MelDIR」開発

前川, 倫宏; 服部, 公春; 安井, 慎ー 他

電気材料技術雑誌, 2020, 29, 39-46

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eme_29_039 pdf なし 4.41 MB 1,122 2020.12.17  

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タイトル
TDIR技術を用いた熱型赤外線センサモジュール「MelDIR」開発
Development of uncooled IRFPA "MelDIR" with using TDIR technology
TDIR　ギジュツ　ヲ　モチイタ　ネツガタ　セキガイセン　センサ　モジュール　MelDIR　カイハツ
著者
著者名
前川, 倫宏 ; マエガワ, トモヒロ ; Maegawa, Tomohiro
著者名
服部, 公春 ; ハットリ, マサハル ; Hattori, Masaharu
著者名
安井, 慎ー ; ヤスイ, シンイチ ; Yasui, Shinichi
著者名
山縣, 有輔 ; ヤマガタ, ユウスケ ; Yamagata, Yusuke
著者名
金光, 伸高 ; カネミツ, ノブタカ ; Kanemitsu, Nobutaka
著者名
太田, 彰 ; オオタ, アキラ ; Ota, Akira
キーワード等
熱型赤外線センサ
サーマルダイオード
抄録
We developed uncooled Infrared focal plane array (IRFPA), in which single crystal pn junction diodes formed in an SOI layer are used as temperature sensors. We are calling this Thermal Diode lnfraRed (TDIR) sensor technology which is our original. By using this technology, we have succeeded to develop a new product "MelDIR" which is cost effective high performance sensor.
出版者
電気材料技術懇談会
デンキ　ザイリョウ　ギジュツ　コンダンカイ
収録物名
電気材料技術雑誌
Journal of the Society of Electrical Materials Engineering
巻(号)
29
ページ
39-46
刊行年月
2020-10-10
言語
日本語
ハンドルURL
https://hdl.handle.net/11094/77723
DOI
https://doi.org/10.18910/77723
PISSN
09189890
NCID
AN10426571
アクセス権
open access
出版タイプ
Version of Record
カテゴリ
本学関連学会 Related Societies
電気材料技術雑誌 / 第29巻