テトラエトキシシラン(Tetraethoxysilane:TEOS)の気相熱分解反応の速度論的・理論的研究

佐竹, 徹也; 反田, 哲史; 足達, 廣士

電気材料技術雑誌, 1995, 4, 21-28

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eme_04_01_021 pdf なし 2.01 MB 1,159 2021.05.26  

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タイトル
テトラエトキシシラン(Tetraethoxysilane:TEOS)の気相熱分解反応の速度論的・理論的研究
Kinetic and Theoretical Study of the Thermal Decomposition of Tetraethoxysilane (TEOS) in the Gas Phase
テトラエトキシシラン　Tetraethoxysilane　TEOS　ノ　キソウ　ネツブンカイ　ハンノウ　ノ　ソクドロンテキ　リロンテキ　ケンキュウ
著者
著者名
佐竹, 徹也 ; Satake, Tetsuya
著者名
反田, 哲史 ; Sorita, Tetsuji
著者名
足達, 廣士 ; Adachi, Hiroshi
キーワード等
テトラエトキシシラン
科学気相成長
熱分解
反応機構
反応速度
分子軌道法
抄録
The thermal decomposition of tetraethoxysilane(TEOS) in the gas phase was studied analyzing growth rate profiles in the reaction gas flow direction, and using gas-chromatograph-massspectrometer(GC-MS) and molecular orbital(MO) calculation. The growth rate due to TEOS which was extracted from the growth rate profiles was analyzed at the various temperatures and an activation energy for the thermal decomposition of TEOS was obtained to be 42kcal/mol. As a result of GC-MS experiments and MO calculations, TEOS decomposes into silanol by eliminating ethylene.
出版者
電気材料技術懇談会
デンキ　ザイリョウ　ギジュツ　コンダンカイ
収録物名
電気材料技術雑誌
Journal of the Society of Electrical Materials Engineering
巻(号)
4
ページ
21-28
刊行年月
1995-11-01
言語
日本語
ハンドルURL
https://hdl.handle.net/11094/81557
PISSN
09189890
NCID
AN10426571
アクセス権
open access
出版タイプ
Version of Record
カテゴリ
本学関連学会 Related Societies
電気材料技術雑誌 / 第4巻