Properties of (Ti, Al) N films prepared by ion beam assisted deposition(Physics, Process, Instrument & Measurements)

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
jwri24_01_031	pdf	1.13 MB	34

タイトル	Properties of (Ti, Al) N films prepared by ion beam assisted deposition(Physics, Process, Instrument & Measurements)
著者	SUZUKI, Tsuneo SUZUKI, Tsuneo
	SETSUHARA, Yuichi SETSUHARA, Yuichi
	MAKINO, Yukio MAKINO, Yukio
	MIYAKE, Shoji MIYAKE, Shoji
	SAKATA, Takao SAKATA, Takao
	MORI, Hirotaro MORI, Hirotaro
公開者	大阪大学溶接工学研究所
公開者の別表記	Welding Research Institute Osaka University
公開者 (ヨミ)	オオサカダイガクヨウセツコウガクケンキュウジョ
掲載誌名	Transactions of JWRI
巻	24
号	1
開始ページ	31
終了ページ	37
刊行年月	1995-07
ISSN	03874508
NCID	AA00867058
URL	http://hdl.handle.net/11094/8174
関連情報 (isversionof)	http://ci.nii.ac.jp/naid/110006485906
権利情報	本文データはCiNiiから複製したものである
言語	英語

著者版フラグ	publisher
NII資源タイプ	紀要論文
ローカル資源タイプ	紀要論文
dcmi資源タイプ	text
DCTERMS.bibliographicCitation	Transactions of JWRI.24(1) P.31-P.37
DC.title	Properties of (Ti, Al) N films prepared by ion beam assisted deposition(Physics, Process, Instrument & Measurements)
DC.creator	SUZUKI, Tsuneo
	SETSUHARA, Yuichi
	MAKINO, Yukio
	MIYAKE, Shoji
	SAKATA, Takao
	MORI, Hirotaro
DC.publisher	大阪大学溶接工学研究所
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	英語
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	1995-07
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/8174
DC.rights	本文データはCiNiiから複製したものである
citation_title	Properties of (Ti, Al) N films prepared by ion beam assisted deposition(Physics, Process, Instrument & Measurements)
citation_author	SUZUKI, Tsuneo
	SETSUHARA, Yuichi
	MAKINO, Yukio
	MIYAKE, Shoji
	SAKATA, Takao
	MORI, Hirotaro
citation_publisher	大阪大学溶接工学研究所
citation_language	英語
citation_date	1995-07
citation_journal_title	Transactions of JWRI
citation_volume	24
citation_issue	1
citation_firstpage	31
citation_lastpage	37
citation_issn	03874508
citation_public_url	http://hdl.handle.net/11094/8174