Properties of (Ti, Al) N films prepared by ion beam assisted deposition(Physics, Process, Instrument & Measurements)

Suzuki, Tsuneo; Setsuhara, Yuichi; Makino, Yukio et al.

Transactions of JWRI, 1995, 24(1), 31-37

アクセス数:4882025-07-06 10:43 集計

固定URL: https://doi.org/10.18910/8174

閲覧可能ファイル 

ファイル フォーマット 利用条件 サイズ 閲覧回数 利用開始日 説明 information
jwri24_01_031 pdf なし 1.13 MB 107 2012.09.22  

論文情報

ファイル出力 EndNote Basic出力 Mendeley出力

タイトル
著者
出版者
収録物名
巻(号)
ページ
刊行年月
言語
ハンドルURL
DOI
PISSN
NCID
アクセス権
出版タイプ
カテゴリ