触媒表面基準エッチング法における材料除去機構の解明と各種機能性材料への応用

藤, 大雪

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31890_Abstract pdf なし 172 KB 333 2021.07.06  

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タイトル
触媒表面基準エッチング法における材料除去機構の解明と各種機能性材料への応用
ショクバイヒョウメンキジュンエッチングホウニオケルザイリョウジョキョキコウノカイメイトカクシュキノウセイザイリョウヘノオウヨウ
著者
NRID
1000070910678 1000070910678
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Scopus Author ID
57190948930 57190948930
著者名
藤, 大雪 ; トウ, ダイセツ
学位名
博士（工学）
学位授与年月日
2021-03-24
学位授与機関
大阪大学
研究科
工学
専攻
精密科学・応用物理学
学位授与番号
甲第21491号
学位記番号
31890
言語
日本語
ハンドルURL
https://hdl.handle.net/11094/82215
アクセス権
open access
カテゴリ
博士論文 / 工学研究科 / 2020年度
注記
やむを得ない事由があると学位審査研究科が承認したため、全文に代えてその内容の要約を公開しています。全文のご利用をご希望の場合は、大阪大学の博士論文についてをご参照ください。
Only the abstract of the doctoral thesis, instead of the full text, is available due to an unavoidable reason which was accepted by the degree-awarding graduate school. If you would like to read the full text, please refer to Doctoral Theses of Osaka University.