走査型トンネル顕微鏡を使って半導体微細加工を観察する

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
ltc106-14	pdf	708 KB	174

タイトル	走査型トンネル顕微鏡を使って半導体微細加工を観察する
タイトル (ヨミ)	ソウサガタトンネルケンビキョウヲツカッテハンドウタイビサイカコウヲカンサツスル
著者	福留, 秀暢福留, 秀暢
	長谷川, 繁彦長谷川, 繁彦
	中島, 尚男中島, 尚男
著者 (ヨミ)	フクトメ, ヒデノブ
	ハセガワ, シゲヒコ
	ナカシマ, ヒサオ
キーワード等	研究ノート
公開者	大阪大学低温センター
公開者 (ヨミ)	オオサカダイガクテイオンセンター
掲載誌名	大阪大学低温センターだより
巻	106
開始ページ	14
終了ページ	18
刊行年月	1999-04
ISSN	03874419
NCID	AN00030246
URL	http://hdl.handle.net/11094/8650
言語	日本語

著者版フラグ	publisher
NII資源タイプ	紀要論文
ローカル資源タイプ	紀要論文
dcmi資源タイプ	text
DCTERMS.bibliographicCitation	大阪大学低温センターだより.106 P.14-P.18
DC.title	走査型トンネル顕微鏡を使って半導体微細加工を観察する
DC.creator	福留, 秀暢
	長谷川, 繁彦
	中島, 尚男
DC.publisher	大阪大学低温センター
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	日本語
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	1999-04
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/8650
DC.subject	研究ノート
citation_title	走査型トンネル顕微鏡を使って半導体微細加工を観察する
citation_author	福留, 秀暢
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	中島, 尚男
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