走査型トンネル顕微鏡を使って半導体微細加工を観察する

福留, 秀暢; 長谷川, 繁彦; 中島, 尚男

大阪大学低温センターだより, 1999, 106, 14-18

アクセス数:231件（2025-04-24 09:07 集計）

固定URL: https://hdl.handle.net/11094/8650

ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
ltc106-14	pdf	なし	708 KB	228	2012.09.22

タイトル	走査型トンネル顕微鏡を使って半導体微細加工を観察する
タイトル	ソウサガタトンネルケンビキョウヲツカッテハンドウタイビサイカコウヲカンサツスル
著者	著者名福留, 秀暢 ; フクトメ, ヒデノブ
	NRID 1000050189528 1000050189528 researchmap permalink Shigehiko_Hasegawa Shigehiko_Hasegawa Scopus Author ID 35419713200 35419713200 著者名長谷川, 繁彦 ; ハセガワ, シゲヒコ
	NRID 1000020198071 1000020198071 著者名中島, 尚男 ; ナカシマ, ヒサオ
内容	研究ノート
出版者	大阪大学低温センター
出版者	オオサカダイガクテイオンセンター
収録物名	大阪大学低温センターだより
巻(号)	106
ページ	14-18
刊行年月	1999-04
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/8650
PISSN	03874419
NCID	AN00030246
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	紀要論文 Departmental Bulletin Paper
カテゴリ	大阪大学低温センターだより / No.106 (1999-04)

資源タイプ	紀要論文
ローカル資源タイプ	紀要論文
DCMI資源タイプ	text
DCTERMS.bibliographicCitation	大阪大学低温センターだより. 1999, 106, p. 14-18
DC.title	走査型トンネル顕微鏡を使って半導体微細加工を観察する
DC.title	ソウサガタトンネルケンビキョウヲツカッテハンドウタイビサイカコウヲカンサツスル
DC.creator	福留, 秀暢
	フクトメ, ヒデノブ
	長谷川, 繁彦
	ハセガワ, シゲヒコ
	中島, 尚男
	ナカシマ, ヒサオ
DC.publisher	大阪大学低温センター
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DCTERMS.issued' scheme='DCTERMS.W3CDTF	1999-04
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DC.format	8650
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