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2022-07-06
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ltc106-14
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185
論文情報
タイトル
走査型トンネル顕微鏡を使って半導体微細加工を観察する
タイトル (ヨミ)
ソウサ ガタ トンネル ケンビキョウ ヲ ツカッテ ハンドウタイ ビサイ カコウ ヲ カンサツ スル
著者
福留, 秀暢
福留, 秀暢
長谷川, 繁彦
長谷川, 繁彦
中島, 尚男
中島, 尚男
著者 (ヨミ)
フクトメ, ヒデノブ
ハセガワ, シゲヒコ
ナカシマ, ヒサオ
内容
研究ノート
公開者
大阪大学低温センター
公開者 (ヨミ)
オオサカダイガク テイオンセンター
掲載誌名
大阪大学低温センターだより
巻
106
開始ページ
14
終了ページ
18
刊行年月
1999-04
ISSN
03874419
NCID
AN00030246
URL
http://hdl.handle.net/11094/8650
言語
日本語
カテゴリ
紀要論文 Departmental Bulletin Paper
大阪大学低温センターだより / No.106 (1999-04)
論文詳細を表示
著者版フラグ
publisher
NII資源タイプ
紀要論文
ローカル資源タイプ
紀要論文
dcmi資源タイプ
text
DCTERMS.bibliographicCitation
大阪大学低温センターだより.106 P.14-P.18
DC.title
走査型トンネル顕微鏡を使って半導体微細加工を観察する
DC.creator
福留, 秀暢
長谷川, 繁彦
中島, 尚男
DC.publisher
大阪大学低温センター
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766
日本語
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF
1999-04
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI
http://hdl.handle.net/11094/8650
DC.description
研究ノート
citation_title
走査型トンネル顕微鏡を使って半導体微細加工を観察する
citation_author
福留, 秀暢
長谷川, 繁彦
中島, 尚男
citation_publisher
大阪大学低温センター
citation_language
日本語
citation_date
1999-04
citation_journal_title
大阪大学低温センターだより
citation_volume
106
citation_firstpage
14
citation_lastpage
18
citation_issn
03874419
citation_public_url
http://hdl.handle.net/11094/8650