Development of ultrasensitive wireless quartz-crystal-microbalance MEMS sensors for hydrogen-gas sensor and biosensor applications

周, 連杰

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32654_Abstract pdf なし 307 KB 139 2022.06.07  

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タイトル
Development of ultrasensitive wireless quartz-crystal-microbalance MEMS sensors for hydrogen-gas sensor and biosensor applications
水素ガスセンサおよびバイオセンサへの応用に向けた超高感度無線水晶振動子MEMSセンサの開発
スイソガスセンサ オヨビ バイオセンサ ヘノオウヨウニムケタチョウコウカンド ムセンスイショウシンドウシ メムス センサ ノカイハツ
著者
著者名
周, 連杰 ; シュウ, レンケツ ; Zhou, Lianjie
学位名
博士（工学）
学位授与年月日
2022-03-24
学位授与機関
大阪大学
研究科
工学
専攻
精密科学・応用物理学
学位授与番号
甲第22146号
学位記番号
32654
言語
英語
ハンドルURL
https://hdl.handle.net/11094/88026
アクセス権
open access
カテゴリ
博士論文 / 工学研究科 / 2021年度
注記
やむを得ない事由があると学位審査研究科が承認したため、全文に代えてその内容の要約を公開しています。全文のご利用をご希望の場合は、大阪大学の博士論文についてをご参照ください。
Only the abstract of the doctoral thesis, instead of the full text, is available due to an unavoidable reason which was accepted by the degree-awarding graduate school. If you would like to read the full text, please refer to Doctoral Theses of Osaka University.