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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
32655_Abstract	pdf	なし	321 KB	221	2022.06.07
32655_Dissertation	pdf	なし	10.4 MB	457	2022.06.07

論文情報

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タイトル	Development of plasma-based nano-precision figuring and finishing techniques for brittle functional materials
	脆性機能材料に対するプラズマを用いたナノ精度形状創成・表面仕上げ技術の開発
	ゼイセイキノウザイリョウニタイスルプラズマヲモチイタナノセイドケ イジョウソウセイ・ヒョウメンシアゲギジュツノカイハツ
著者	NRID 1000050963451 1000050963451 ORCID 0000-0003-1774-9221 0000-0003-1774-9221 researchmap permalink 20220401 20220401 著者名 Sun, Rongyan ; ソン, エイケン
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2022-03-24
学位授与機関	大阪大学
研究科	工学
専攻	精密科学・応用物理学
学位授与番号	甲第22147号
学位記番号	32655
言語	英語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/88027
DOI	https://doi.org/10.18910/88027
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文 本文あり / 工学研究科 / 2021年度
	博士論文 / 工学研究科 / 2021年度

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