圧電型振動発電デバイスの開発

村上, 修一; 吉村, 武; 佐藤, 和郎; 金岡, 祐介; 津田, 和城

doi:https://doi.org/10.18910/89735

圧電型振動発電デバイスの開発

村上, 修一; 吉村, 武; 佐藤, 和郎他

電気材料技術雑誌, 2022, 31(1), 20-25

アクセス数:233件（2025-03-17 04:50 集計）

固定URL: https://doi.org/10.18910/89735

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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
eme_31_01_020	pdf	なし	2.88 MB	1,091	2022.12.21

論文情報

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タイトル	圧電型振動発電デバイスの開発
	Development of piezoelectric vibration energy harvester
	アツデンガタ　シンドウ　ハツデン　デバイス　ノ　カイハツ
著者	NRID 1000070359420 1000070359420 著者名村上, 修一 ; ムラカミ, シュウイチ ; Murakami, Shuichi
	NRID 1000030405344 1000030405344 著者名吉村, 武 ; ヨシムラ, タケシ ; Yoshimura, Takeshi
	NRID 1000030315163 1000030315163 著者名佐藤, 和郎 ; サトウ, カズオ ; Satoh, Kazuo
	NRID 1000060443537 1000060443537 著者名金岡, 祐介 ; カナオカ, ユウスケ ; Kanaoka, Yusuke
	NRID 1000040359435 1000040359435 著者名津田, 和城 ; ツダ, カズキ ; Tsuda, Kazuki
キーワード等	圧電
	非鉛
	振動発電
	磁界振動発電
	環境発電
	エネルギーハーベスティング
抄録	Recently considerable attention has been directed toward the vibration energy harvesters (VEHs) for application of power sources for wireless sensors. We have been developing piezoelectric VEHs, which have features of simple structure, directly convert mechanical energy into electrical energy, and can be integrated into monolithic MEMSscale systems. We prepared the lead-free BiFeO₃ (BFO) piezoelectric films, where LaNiO₃ film was used as the bottom electrode in order to obtain the (100)-oriented BFO films. The BFO films showed the high figure of merit for energy conversion. The typical cantilever-type piezoelectric MEMS VEHs using the BFO films were fabricated by the MEMS technologies, which shows the power generation performance as high as VEHs using Pb(Zr,Ti)O₃ films. This implies that the BFO VEHs are expected as self-supporting power sources. Furthermore, we have been developing the AC magnetic field VEHs as a new application of piezoelectric VEH, which was shown to be promising as a power source for wireless sensors.
出版者	電気材料技術懇談会
収録物名	電気材料技術雑誌
収録物名	Journal of the Society of Electrical Materials Engineering
巻(号)	31(1)
ページ	20-25
刊行年月	2022-12-20
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/89735
DOI	https://doi.org/10.18910/89735
PISSN	09189890
NCID	AN10426571
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	本学関連学会 Related Societies
カテゴリ	電気材料技術雑誌 / 第31巻 / 第1号

資源タイプ	学術雑誌論文
ローカル資源タイプ	本学関連学会
DCMI資源タイプ	text
DCTERMS.bibliographicCitation	電気材料技術雑誌. 2022, 31(1), p. 20-25
DC.title	圧電型振動発電デバイスの開発
	Development of piezoelectric vibration energy harvester
	アツデンガタ　シンドウ　ハツデン　デバイス　ノ　カイハツ
DC.creator	村上, 修一
	ムラカミ, シュウイチ
	Murakami, Shuichi
	吉村, 武
	ヨシムラ, タケシ
	Yoshimura, Takeshi
	佐藤, 和郎
	サトウ, カズオ
	Satoh, Kazuo
	金岡, 祐介
	カナオカ, ユウスケ
	Kanaoka, Yusuke
	津田, 和城
	ツダ, カズキ
	Tsuda, Kazuki
DC.publisher	電気材料技術懇談会
DC.language' scheme='DCTERMS.RFC1766	日本語
DC.type' scheme='DCTERMS.DCMIType	text
DCTERMS.issued' scheme='DCTERMS.W3CDTF	2022-12-20
DC.subject	圧電
	非鉛
	振動発電
	磁界振動発電
	環境発電
	エネルギーハーベスティング
DCTERMS.abstract	Recently considerable attention has been directed toward the vibration energy harvesters (VEHs) for application of power sources for wireless sensors. We have been developing piezoelectric VEHs, which have features of simple structure, directly convert mechanical energy into electrical energy, and can be integrated into monolithic MEMSscale systems. We prepared the lead-free BiFeO₃ (BFO) piezoelectric films, where LaNiO₃ film was used as the bottom electrode in order to obtain the (100)-oriented BFO films. The BFO films showed the high figure of merit for energy conversion. The typical cantilever-type piezoelectric MEMS VEHs using the BFO films were fabricated by the MEMS technologies, which shows the power generation performance as high as VEHs using Pb(Zr,Ti)O₃ films. This implies that the BFO VEHs are expected as self-supporting power sources. Furthermore, we have been developing the AC magnetic field VEHs as a new application of piezoelectric VEH, which was shown to be promising as a power source for wireless sensors.
DC.identifier	10.18910/89735
DC.format	89735
citation_title	圧電型振動発電デバイスの開発
citation_author	村上, 修一
	吉村, 武
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	津田, 和城
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citation_date	2022-12-20
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citation_volume	31
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citation_doi_detail	10.18910/89735
citation_doi	https://doi.org/10.18910/89735

圧電型振動発電デバイスの開発

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