固定URL: https://doi.org/10.18910/91941

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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
33258_Abstract	pdf	なし	279 KB	113	2023.07.04
33258_Dissertation	pdf	なし	18.1 MB	1,668	2023.07.04

論文情報

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タイトル	一軸掃引塗布法を用いた半導体薄膜作製における高次構造の配向制御に関する研究
	イチジクソウイントフホウヲモチイタハンドウタイハクマクサクセイニオケルコウジコウゾウノハイコウセイギョニカンスルケンキュウ
著者	著者名 鶉野, 弦也 ; ウズラノ, ゲンヤ
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	2023-03-23
学位授与機関	大阪大学
研究科	工学
専攻	電気電子情報通信工学
学位授与番号	14401甲第22668号
学位記番号	33258
言語	日本語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/91941
DOI	https://doi.org/10.18910/91941
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文 本文あり / 工学研究科 / 2022年度
	博士論文 / 工学研究科 / 2022年度

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