Evaluation of surface and interface properties of Si-based structures by terahertz emission spectroscopy (TES)

Yang, Dongxun

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33726_Abstract pdf なし 1.23 MB 104 2023.10.31  

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タイトル
Evaluation of surface and interface properties of Si-based structures by terahertz emission spectroscopy (TES)
光励起テラヘルツ波放射分光法によるSi系構造体の表面及び界面の物性評価
ヒカリレイキテラヘルツハホウシャブンコウホウニヨルシリコンケイコウゾウタイノヒョウメンオヨビカイメンノブッセイヒョウカ
著者
著者名
Yang, Dongxun ; 楊, 棟勛 ; ヤン, ドンシュン
学位名
博士（工学）
学位授与年月日
2023-09-25
学位授与機関
大阪大学
研究科
工学
専攻
電気電子情報通信工学
学位授与番号
14401甲第23048号
学位記番号
33726
言語
英語
ハンドルURL
https://hdl.handle.net/11094/92953
アクセス権
open access
カテゴリ
博士論文 / 工学研究科 / 2023年度
注記
やむを得ない事由があると学位審査研究科が承認したため、全文に代えてその内容の要約を公開しています。全文のご利用をご希望の場合は、大阪大学の博士論文についてをご参照ください。
Only the abstract of the doctoral thesis, instead of the full text, is available due to an unavoidable reason which was accepted by the degree-awarding graduate school. If you would like to read the full text, please refer to Doctoral Theses of Osaka University.