Optical Properties and Molecular Orbital Analyses of Defects in Photo-CVD SiO2 Thin Films

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ファイル	フォーマット	サイズ	閲覧回数	説明
12528_要旨	pdf	123 KB	45	要旨/Abstract
12528_論文	pdf	6.77 MB	32	論文/Dissertation

タイトル	Optical Properties and Molecular Orbital Analyses of Defects in Photo-CVD SiO2 Thin Films
別タイトル	光CVDSiO2膜中欠陥の光学的性質および分子軌道法による評価
タイトル (ヨミ)	ヒカリ CVD SiO2 マクチュウケッカンノコウガクテキセイシツオヨビブンシキドウホウニヨルヒョウカ
著者	金島, 岳金島, 岳
著者の別表記	Kanashima, Takeshi
著者 (ヨミ)	カナシマ, タケシ
著者所属研究科	基礎工学
専攻	物理系
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	1996-03-25
学位授与機関	大阪大学
学位授与番号	14401甲第05631号
学位記番号	12528
URL	http://hdl.handle.net/11094/99
言語	英語
DOI	info:doi/10.11501/3110097
カテゴリ	博士論文本文あり / 基礎工学研究科 / 1995年度
カテゴリ	博士論文 / 基礎工学研究科 / 1995年度

著者版フラグ	ETD
NII資源タイプ	学位論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
dcmi資源タイプ	text
DC.title	Optical Properties and Molecular Orbital Analyses of Defects in Photo-CVD SiO2 Thin Films
DCTERMS.alternative	光CVDSiO2膜中欠陥の光学的性質および分子軌道法による評価
DC.creator	金島, 岳
DC.creator	Kanashima, Takeshi
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766	英語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI	http://hdl.handle.net/11094/99
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF	1996-03-25
DC.identifier	info:doi/10.11501/3110097
citation_title	Optical Properties and Molecular Orbital Analyses of Defects in Photo-CVD SiO2 Thin Films
citation_author	金島, 岳
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citation_date	1996-03-25
citation_doi	info:doi/10.11501/3110097