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2018-04-27
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https://doi.org/10.11501/3110097
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12528_要旨
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要旨/Abstract
12528_論文
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6.77 MB
40
論文/Dissertation
論文情報
タイトル
Optical Properties and Molecular Orbital Analyses of Defects in Photo-CVD SiO2 Thin Films
別タイトル
光CVDSiO2膜中欠陥の光学的性質および分子軌道法による評価
タイトル (ヨミ)
ヒカリ CVD SiO2 マク チュウ ケッカン ノ コウガクテキ セイシツ オヨビ ブンシ キドウホウ ニヨル ヒョウカ
著者
金島, 岳
金島, 岳
著者の別表記
Kanashima, Takeshi
著者 (ヨミ)
カナシマ, タケシ
著者所属研究科
基礎工学
専攻
物理系
学位名
博士(工学)
学位授与年月日
1996-03-25
学位授与機関
大阪大学
学位授与番号
14401甲第05631号
学位記番号
12528
URL
http://hdl.handle.net/11094/99
言語
英語
DOI
info:doi/10.11501/3110097
論文詳細を表示
著者版フラグ
ETD
NII資源タイプ
学位論文
ローカル資源タイプ
博士論文 本文あり
博士論文
dcmi資源タイプ
text
DC.title
Optical Properties and Molecular Orbital Analyses of Defects in Photo-CVD SiO2 Thin Films
DCTERMS.alternative
光CVDSiO2膜中欠陥の光学的性質および分子軌道法による評価
DC.creator
金島, 岳
DC.creator
Kanashima, Takeshi
DC.language" scheme="DCTERMS.RFC1766
英語
DC.identifier" scheme="DCTERMS.URI
http://hdl.handle.net/11094/99
DCTERMS.issued" scheme="DCTERMS.W3CDTF
1996-03-25
DC.identifier
info:doi/10.11501/3110097
citation_title
Optical Properties and Molecular Orbital Analyses of Defects in Photo-CVD SiO2 Thin Films
citation_author
金島, 岳
citation_language
英語
citation_public_url
http://hdl.handle.net/11094/99
citation_date
1996-03-25
citation_doi
info:doi/10.11501/3110097