Optical Properties and Molecular Orbital Analyses of Defects in Photo-CVD SiO2 Thin Films

金島, 岳

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固定URL: https://doi.org/10.11501/3110097

ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明	information
12528_Abstract	pdf	なし	123 KB	166	2014.06.09	要旨/Abstract
12528_Dissertation	pdf	なし	6.77 MB	120	2012.09.22	論文/Dissertation

タイトル	Optical Properties and Molecular Orbital Analyses of Defects in Photo-CVD SiO2 Thin Films
	光CVDSiO2膜中欠陥の光学的性質および分子軌道法による評価
	ヒカリ CVD SiO2 マクチュウケッカンノコウガクテキセイシツオヨビブンシキドウホウニヨルヒョウカ
著者	NRID 1000030283732 1000030283732 著者名金島, 岳 ; カナシマ, タケシ ; Kanashima, Takeshi
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	1996-03-25
学位授与機関	大阪大学
研究科	基礎工学
専攻	物理系
学位授与番号	甲第05631号
学位記番号	12528
言語	英語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/99
DOI	https://doi.org/10.11501/3110097
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文本文あり / 基礎工学研究科 / 1995年度
カテゴリ	博士論文 / 基礎工学研究科 / 1995年度

資源タイプ	博士論文
ローカル資源タイプ	博士論文本文あり
ローカル資源タイプ	博士論文
DCMI資源タイプ	text
DCTERMS.bibliographicCitation	大阪大学, 1996, 博士論文
DC.title	Optical Properties and Molecular Orbital Analyses of Defects in Photo-CVD SiO2 Thin Films
	光CVDSiO2膜中欠陥の光学的性質および分子軌道法による評価
	ヒカリ CVD SiO2 マクチュウケッカンノコウガクテキセイシツオヨビブンシキドウホウニヨルヒョウカ
DC.creator	金島, 岳
	カナシマ, タケシ
	Kanashima, Takeshi
DC.language' scheme='DCTERMS.RFC1766	英語
DC.type' scheme='DCTERMS.DCMIType	text
DCTERMS.issued' scheme='DCTERMS.W3CDTF	1996-03-25
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citation_title	Optical Properties and Molecular Orbital Analyses of Defects in Photo-CVD SiO2 Thin Films
citation_author	金島, 岳
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citation_date	1996-03-25
citation_doi_detail	10.11501/3110097
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