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ファイル	フォーマット	利用条件	サイズ	閲覧回数	利用開始日	説明
12528_Abstract	pdf	なし	123 KB	95	2014.06.09	要旨/Abstract
12528_Dissertation	pdf	なし	6.77 MB	63	2012.09.22	論文/Dissertation

論文情報

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タイトル	Optical Properties and Molecular Orbital Analyses of Defects in Photo-CVD SiO2 Thin Films
	光CVDSiO2膜中欠陥の光学的性質および分子軌道法による評価
	ヒカリ CVD SiO2 マク チュウ ケッカン ノ コウガクテキ セイシツ オヨビ ブンシ キドウホウ ニヨル ヒョウカ
著者	NRID 1000030283732 1000030283732 著者名 金島, 岳 ; カナシマ, タケシ ; Kanashima, Takeshi
学位名	博士（工学）
学位授与年月日	1996-03-25
学位授与機関	大阪大学
研究科	基礎工学
専攻	物理系
学位授与番号	甲第05631号
学位記番号	12528
言語	英語
ハンドルURL	https://hdl.handle.net/11094/99
DOI	https://doi.org/10.11501/3110097
アクセス権	open access
出版タイプ	Version of Record
カテゴリ	博士論文 本文あり / 基礎工学研究科 / 1995年度
	博士論文 / 基礎工学研究科 / 1995年度

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